Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys #9044491 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys est un graveur/asher conçu pour fournir une productivité élevée et une flexibilité de processus avancée pour les applications de gravure et ashing. 2300 Versys est construit sur une plate-forme Dual Pocket Load Lock avec une capacité HotWafer pour des retards de débit réduits, ce qui permet des débits plus élevés à une recette donnée. Le système est livré avec plusieurs technologies de gravure, de nettoyage et de cendre pour différentes applications, y compris la gravure ionique réactive (RIE), le dépôt ionique par immersion plasmatique (PIID), la résonance cyclotron électronique (ECR) et le dépôt par inductance cinétique (KID). Sa conception modulaire intègre tous les éléments nécessaires de la machine de gravure - source, chambre, contrôleur et alimentation électrique - dans un seul châssis, ce qui le rend facile à installer et à entretenir. LAM RESEARCH 2300 Versys offre également une flexibilité accrue des procédés, un coût de propriété moindre et des coûts de matériaux réduits par rapport aux systèmes de gravure traditionnels. 2300 Versys est configurable pour les applications de production et de recherche, permettant des configurations personnalisées pour une productivité optimale, temps de disponibilité et répétabilité. Ses générateurs RF et micro-ondes fiables et performants sont spécialement dimensionnés pour offrir une maintenance à vie limitée. Un système d'isolation source/chambre réglable supporte la génération de plasma à faible courant, tandis que les commandes d'accord automatiques flexibles permettent une configuration rapide et précise du processus. De plus, LAM RESEARCH 2300 Versys dispose d'un régulateur de débit massique intégré et d'un panneau de gaz, qui permet le contrôle et la surveillance en temps réel des gaz de procédé, ainsi que d'une porte à réaction rapide et d'un filtre à poussière offrant une protection supérieure contre les poussières et un chargement/déchargement rapide des plaquettes. Au total, 2300 Versys offre un haut niveau de performance et de flexibilité pour les applications de gravure et d'ashing. Ses technologies de pointe et ses systèmes intégrés garantissent une fiabilité et un débit élevés pour les environnements de production et de recherche.