Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys #9161243 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys
Etchers/Ashers
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
2300 Versys
ID: 9161243
Taille de la plaquette: 12"
Metal etcher, 12" EFEM: Part no Load port (1): 002-7200-21 Load port (2): 002-7200-32 Atm robot: No Wafer alignment: 03121001 Power control rack: AC Rack: Model no: 2300 Vintage: 2003 Rear user interface monitor: Yes Robot controller: No P/C: Yes Vacuum TM: Airlock (Right): Yes Airlock (Left): Yes VTM Robot: No TM / PM Facility lines: Yes Slop valve load lock (Right): Yes Slop valve load lock (Left): Yes Vacuum TM: Part No Inner door Assy (Air lock Right): 853-007861-231 Inner door Assy (Air lock Left): 853-007861-003 Inner door Assy (PM2): 853-007859-002 Inner door Assy (PM3): 853-007859-212 Inner door Assy (PM4): 853-007859-212 Process module: PM2: 2300 Poly: Model no: Metal 2300 Vintage: 2003 TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23747 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: Yes AC/SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Fore line Assy: Yes He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM1: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: Yes MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator (12/12): 12/12 RPDB Power box: Yes PM3: TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23743 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: Yes AC / SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Fore line Assy: Yes He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM2: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: No MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator(12/12): 10/12 PM4: TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23743 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: No AC / SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Foreline Assy: No He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM3: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: Yes MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator(12/12): 12/12.
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LAM RESEARCH 2300 Versys est une plate-forme de graveur/asher entièrement automatisée, développée par le premier fournisseur de technologies de fabrication de semi-conducteurs, LAM RESEARCH. Il est conçu pour répondre aux besoins spécifiques des fabricants de dispositifs, y compris ceux des industries avancées CMOS, MEMS et de l'énergie. Le Versys utilise des techniques de gravure plasma et de cendres pour créer avec précision des caractéristiques de haute précision aux tolérances serrées. Le composant gravure est doté d'un générateur hyperfréquence optimisé LCENTREource, d'une chambre de gravure de précision et d'un équipement propriétaire de distribution de gaz. Le composant de la cendre utilise le procédé de cueillette de la cendre, un système de cueillette à haute réactivité, à faible fuite et à basse température. Le Versys est conçu avec une fenêtre de processus serrée, lui permettant de graver, de cendres et de définir des caractéristiques avec des niveaux microniques de précision. Sa grande fiabilité et sa répétabilité garantissent encore plus de précision, même sur les profils compliqués et les plus difficiles. Les processus de gravure et de cendres sont contrôlés par la dose et gérés par les bords, ce qui permet un contrôle complet des profils de gravure et de cendres dans des topographies prédéfinies et personnalisées. L'unité de traitement des plaquettes est entièrement automatisée et basée sur des solutions, ce qui simplifie la livraison de traitement en temps réel et le doublement des tâches dans une seule machine. Le Versys est convivial, avec une interface tactile grande et facile à lire, une bibliothèque complète de gravures et de cendres, et de puissantes capacités de collecte de données. Il offre également la surveillance et le contrôle des performances en temps réel avec l'examen de l'état, des alarmes et des traces. Le Versys est une solution complète de gravure/cendres, conçue pour améliorer la performance et la productivité des produits. Avec des rendements de processus élevés et une disponibilité maximale, le Versys est un outil fiable destiné à fournir rapidement des améliorations de produit d'une manière fiable et rentable.
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