Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys #9282474 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2300 Versys etcher/asher est un équipement de pointe conçu pour offrir un traitement à haut débit et une plus grande flexibilité de processus. Le système est spécialement conçu pour charger des matrices tridimensionnelles complètes sur une surface de substrat à très haut débit et répétabilité de processus. Il offre une large gamme de capacités de processus, y compris la gravure ionique réactive (RIE), la gravure plasma, et l'ashing. Le Versys dispose d'un contrôle de processus in situ multi-jet octopole avancé qui est capable d'atteindre l'uniformité de pointe de l'industrie. Il dispose également d'une vitesse de gravure insensible à la température et d'une capacité de masquage accordable qui permet une plus grande précision et un meilleur contrôle des paramètres du processus. Les autres caractéristiques comprennent une plage de pression variable, un contrôle automatisé des taux de gravure préprogrammés et la capacité de contrôler les structures tridimensionnelles. Le Versys offre également la possibilité d'intégrer la gravure ionique réactive dans une variété de chambres de gravure. Cela permet à l'unité d'être mise à l'échelle pour accueillir des applications de gravure spécialisées. La machine est également équipée d'une plate-forme de rangement multi-axes qui fournit un alignement et un positionnement précis des substrats ainsi qu'un outil de vide entièrement intégré qui contrôle les conditions de processus et fournit une grande uniformité. Le Versys est conçu avec une interface utilisateur avancée et des outils de programmation intuitifs pour assurer une production efficace et efficiente de produits gravés. Son logiciel de pointe facilite le réglage de la sélection des substrats, le contrôle de position et la sélection des processus. Une bibliothèque de conception intégrée permet de récupérer et de transférer facilement et efficacement les paramètres de processus, les formes et les masques pour le traitement par lots. Enfin, l'actif dispose d'une configuration modulaire et d'un indexeur de transfert, permettant un traitement rapide et facile entre les outils ou d'une machine à l'autre. 2300 Versys etcher/asher est un modèle avancé qui offre un nouveau niveau de précision et de contrôle sur les processus de gravure et d'ashing. Son logiciel de pointe, son équipement sous vide intégré et sa plate-forme de mise en scène multi-axes permettent une plus grande précision et la production de structures tridimensionnelles. En outre, son interface utilisateur intuitive, les capacités de la bibliothèque de conception et la bibliothèque de conception permettent une production efficace et efficiente.
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