Occasion LAM RESEARCH 2300 #9083803 à vendre en France
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ID: 9083803
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes iPX
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side and front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS / GEM
Plat from type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type: 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config lam supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un graveur et asher technologiquement avancé spécialement conçu pour la production à haut volume de dispositifs semi-conducteurs. L'Exelan est capable de graver et d'aspirer à grande vitesse tout en fournissant des résultats extrêmement précis. Son procédé chimique semi-aqueux unique garantit une structure et une qualité de surface uniformes. L'équipement est capable d'effectuer des gravures à haut débit et des cendres de plaquettes de silicium, et peut gérer un maximum de trois plaquettes de 200 mm (8 pouces) à la fois. L'Exelan est équipé de capacités avancées de contrôle et d'intégration des processus pour les opérations automatisées. Son système optique de haute précision de lumière blanche permet à l'unité d'effectuer la gravure et la cendre avec précision et précision. Sa machine d'automatisation avancée fournit une stratégie de contrôle localisée et flexible qui permet le contrôle simultané de divers paramètres de processus. Le bras robotique intégré permet de minimiser le temps de cycle, tout en fournissant des résultats reproductibles. Les commandes logicielles de la machine offrent une gamme complète de capacités de contrôle et d'intégration des processus. L'outil est équipé d'une vaste bibliothèque de recettes qui peuvent être consultées et réutilisées pour des applications avec un ensemble similaire d'exigences de traitement. L'Exelan offre également une gamme complète de fonctions de processus, de diagnostic et d'analyse de données. L'actif dispose d'un mini-bloc de processus avec chargement et déchargement automatique des plaquettes. En outre, le modèle dispose d'outils de diagnostic intégrés qui permettent de surveiller et d'analyser le processus de gravure et de cueillette. L'équipement offre également un logiciel de contrôle des processus qui permet aux ingénieurs d'ajuster leurs processus pour une performance et une efficacité optimales. La conception modulaire de l'Exelan permet de personnaliser des caractéristiques supplémentaires telles que les systèmes d'inertage de l'azote, les systèmes de recirculation et les systèmes de délivrance chimique supplémentaires. Le système est conforme à diverses normes de sécurité et environnementales et a passé divers contrôles de sécurité dans différents régimes d'essai. L'unité a été prouvée pour aider à réduire le coût de propriété et fournir un coût total d'exploitation faible. Au total, 2300 Exelan est une machine avancée capable d'effectuer des tâches de gravure et de cueillette à haute performance. L'outil est idéal pour des applications de production à haut volume telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs car il permet des opérations rapides et rentables. Les capacités intégrées de contrôle des processus et d'automatisation de l'actif offrent des performances constantes et répétables, tandis que son large éventail de fonctions de processus, de diagnostic et d'analyse des données assure l'optimisation et l'efficacité des processus.
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