Occasion LAM RESEARCH 2300 #9176731 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 est un graveur/asher de plasma de grande capacité. Il est conçu pour graver/graver un large éventail de substrats dans un équipement hautement intégré et entièrement automatisé. Le système dispose d'un contrôle des processus de pointe, avec une gamme complète de capteurs, de contrôleurs et de logiciels pour permettre aux utilisateurs de traiter leurs substrats de la manière la plus efficace et la plus économique. 2300 est capable de fournir des applications de gravure/cendrage de haute qualité pour une gamme de substrats, y compris les appareils CMOS et MEMS, les photorésistants, les alliages sans plomb et les substrats pharmaceutiques, ainsi que les métaux communs tels que le cuivre, l'aluminium, le nickel et le titane. LAM RESEARCH 2300 offre un rapport de gravure et de nettoyage élevé sur de grandes surfaces de substrat, et a également la flexibilité de traiter des substrats de différentes formes et tailles. 2300 utilise un procédé unique de gravure basse tension qui élimine les pulvérisations métalliques excessives, offrant des performances de gravure et une uniformité supérieures, une plus longue durée de vie de la pompe et une réduction des résidus sur le substrat. Le procédé peut être adapté pour répondre aux exigences spécifiques du substrat et de l'application, tout en offrant une sélectivité, une répétabilité et une reproductibilité élevées. L'unité est équipée d'une gamme de fonctionnalités avancées, y compris une machine entièrement automatisée de contrôle du débit de chambre à chambre, un outil à recette hautement configurable avec contrôle du débit et de la pression, suivi de processus en temps réel, et un large choix de gaz de processus avec des flux contrôlables. De plus, LAM RESEARCH 2300 possède un actif automatisé de mélange de gaz qui permet aux exploitants de contrôler le mélange de gaz, qui est un paramètre clé pour l'efficacité de gravure et le contrôle du processus. Le modèle est également équipé de dispositifs de sécurité avancés, offrant un confinement sécurisé des gaz de procédé, une protection contre des plages de traitement trop élevées et une fermeture automatique en cas de dysfonctionnement du procédé. Dans l'ensemble, 2300 fournit une solution de gravure très fiable, flexible et rentable pour un large éventail de substrats et d'applications.