Occasion LAM RESEARCH 2300 #9197892 à vendre en France
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Vendu
ID: 9197892
Style Vintage: 2011
Etcher
Model: Syndion
Flow rate:
Vibration: ±2%
Digital MFC
Gases Size Purity
C4F8 400 sccm 99.999% (5N)
SF6 1800 sccm 99.999% (5N)
Ar 200 scm 99.9995% (5N5)
O2 200 sccm 99.999% (5N5)
CF4 500 sccm 99.999% (5N5)
Pressure:
PM Pumpdown:
500mTorr
APC Valve open
LL Pumpdown:
80mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C Vibration
Forward power: ±1% Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Process module configuration:
Transport
L/L Chamber: Dry pump pumping speed: 37 m³/h
Etch process chamber (Type: Syndion)
Power system:
TCP Generator (AE 3000W)
Bias generator (AE 2000W)
Pressure system:
MKS Gauge (100mTorr / 500mTorr / 10000mTorr)
ESC (Monopolar)
Dry pump not included
2011 vintage.
LAM RESEARCH 2300 est un graveur ou asher avancé conçu pour la fabrication de composants microélectroniques. Cet équipement de pointe fournit le contrôle précis nécessaire à la création de motifs et de circuits précis sur micropuces, permettant la production de composants performants pour des applications telles que systèmes sur puces (SOC), capteurs et microcontrôleurs. 2300 utilise un procédé de gravure à plusieurs niveaux impliquant le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui permet la gravure uniforme et cohérente de nombreux matériaux différents, y compris l'aluminium, le cuivre et le silicium polycristallin. Le procédé CVD, en particulier, est utilisé pour le dépôt de couches minces et pour la création de motifs complexes sur micropuces. LAM RESEARCH 2300 soutient une gamme d'applications, y compris la gravure de motifs de sous-microns, l'amincissement de substrats et le dépôt de différentes couches de matériaux. Grâce à sa technologie de pointe, le système peut également réaliser des composants semi-conducteurs aussi minces que 100nm ou plus bas. D'autres caractéristiques de 2300, telles que son unité de commande avancée, permettent une précision, une répétabilité et une longévité accrues. Grâce à LAM RESEARCH 2300, une gravure précise et cohérente du profil est réalisable avec un minimum de complexité. La machine est également connue pour son excellente répétabilité de processus, essentielle pour une production à haut volume, et pour son contrôle automatisé des processus à base de recettes. Dans l'ensemble, 2300 est un outil inestimable pour la production de composants microélectroniques performants et fiables. Ses capacités sophistiquées de contrôle des processus et de répétabilité, combinées à sa gamme polyvalente d'applications, en font le choix idéal pour la gravure de micropuces de haute précision.
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