Occasion LAM RESEARCH 2300 #9407004 à vendre en France
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ID: 9407004
Style Vintage: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 est un équipement de pointe de pointe pour la gravure par voie humide développé par LAM RESEARCH Corporation. Ce système est spécialement conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices haute densité et offre une cohérence et une uniformité de gravure supérieures. 2300 unité a été conçue pour fournir un niveau de performance plus élevé que les systèmes de gravure par voie humide disponibles précédemment, et dispose de la technologie brevetée primée pour fournir des taux de gravure de pointe de l'industrie, uniformité et précision. LAM RESEARCH 2300 se compose d'une machine de livraison chimique (CDS) qui fournit une gamme complète de gaz de procédé, ainsi que deux échangeurs de chaleur pour le contrôle précis de la température du substrat. Tant le CDS que les échangeurs de chaleur sont activement entretenus et optimisés via le contrôleur intégré afin d'assurer des performances de gravure fiables, répétables et cohérentes. 2300 comprend également une chambre de procédé qui abrite une source de plasma de graveur avancé. Cette source unique est capable de générer une large gamme de différents types et fréquences de plasma, et travaille à l'unisson avec le CDS et les échangeurs de chaleur pour fournir des résultats de gravure supérieurs sur l'ensemble de la densité des plaquettes. De plus, l'outil LAM RESEARCH 2300 est facile à installer et à entretenir et dispose d'une grande variété de fonctions de sécurité et de diagnostic pour assurer un fonctionnement fiable et sécuritaire. L'actif est également compatible avec un large éventail de porteurs de plaquettes et supporte jusqu'à quatre millions de plaquettes par jour, fournissant un débit extrêmement élevé pour une production à grande échelle. En conclusion, 2300 est un modèle de gravure et de cendrage puissant et avancé qui offre les plus hauts niveaux de performance et de fiabilité. La combinaison de matériel et de logiciels de pointe de l'industrie garantit des résultats supérieurs dans un large éventail de types de processus et de substrats, tandis que ses capacités intuitives de conception et de diagnostic simplifient la configuration et la maintenance.
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