Occasion LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #293601041 à vendre en France
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Vendu
ID: 293601041
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
Dielectric etcher, 12"
Seismic bracket TM
Weight dist plate TM
(3) Seismic brackets PM
(3) 2300 Flex DX
2300e4 Platform
2300 Process module
2300 Flex D Series option
(3) 4XX Series ESCs
(3) PM Facilities: Dual with temp monitor
(3) Flow meters: 10 GPM
(3) eDGF+ Gas feeds
Dual zone ESC Cooling flex
D Series
Heated foreline manometer
Top Pl Chamber manometer
Baffle
Lower isolation valve: Viton
Chemraz vacuum valve
Interconnect hardware:
Pump to TCU 100ft
TCU to PM 100ft
(3) Interconnect hardware: Pump to PM 100ft
EMO Cables:
(3) TCU to RPDB 50 ft
(3) Pump to RPDB 50 ft
2300 Flex D Series quick clean kit
2300 Gas box
2300 Flex D Series Jetstream
(3) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(51) HORIBA D519
(17) SST Facility interface boxes
(17) SST Facility interface boxes
UI Display with disp trans
(16) UI Display with disp trans
2300 Platform (E)
(3) Hermos carrier ID
Additional load port
(3) Corrosion resistant LPM
WIDS Btm read
RGV / OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
AUX Buffer: 25 Slot
Vespel wafer finger
EDWARDS iXL
Vespel single sense
Advanced aligner
User Interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Internal UPS bypass with UPS
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 ft
Signal light tower, R-G-A Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Flow monitoring
System calibration and alignment
Service step for PM
Ionizer kit
ATM Duct interface
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv fittings
APCS
SVID and facility interface board
VTM Breakout board / cover
2nd TM Pump standard with EQ
2300 Peripheral
(3) Non-qual 2-Channel TCU
Gateway communication
2300 Ship ahead
Standard ship ahead item
2300 Additional enhancement
Standard process quality
Standard training
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
NSR 8423, Hardware firewall
EDA2
NSRL 1000
Generator: 60 MHz
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX est un graveur/asher avancé à haut débit conçu pour créer des microstructures très précises. Ce graveur/asher est équipé d'une large gamme de capacités de gravure et est capable de produire des couches de substrat gravé très détaillées et précises. L'équipement utilise des technologies de pointe pour traiter facilement des matériaux tels que le silicium et les semi-conducteurs composés. 2300e4 Exelan Flex DX dispose d'un mécanisme de balayage à grande vitesse, qui est capable de balayer rapidement des cibles de grande taille avec son système optique à fort grossissement. Cette unité dispose également des dernières technologies laser, assurant une précision et une précision extrêmes lors de la gravure. En outre, le graveur/asher est également équipé d'une gamme de recettes de gravure personnalisées, qui peuvent être utilisées pour produire des structures très spécifiques. Il est ainsi plus facile pour les utilisateurs de fabriquer une variété de structures avec facilité. La machine offre également un meilleur contrôle des processus, ce qui garantit un niveau plus élevé de répétabilité et d'optimisation des processus. Outre ses capacités de gravure, LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX est également livré avec des systèmes de refroidissement avancés, qui garantit des performances optimales et une plus grande durée de vie de la machine. Il dispose également d'un contrôleur logique programmable (PLC), qui permet aux clients d'ajuster les paramètres de l'outil en fonction de leurs besoins exacts. L'actif dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité, tels que des boutons d'arrêt d'urgence et des embrayages, réduisant le risque d'accidents. En outre, les fonctions de maintenance et de service sont intégrées dans le modèle, ce qui permet aux utilisateurs de maintenir facilement le fonctionnement de l'équipement à des niveaux optimaux. En conclusion, 2300e4 Exelan Flex DX est un graveur/asher avancé capable de produire des couches de substrat gravé très détaillées et précises. Il est équipé d'une gamme de recettes de gravure personnalisées, de systèmes de refroidissement avancés et de caractéristiques de sécurité avancées, ce qui en fait un graveur/asher fiable et fiable pour les applications industrielles et de recherche.
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