Occasion LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385677 à vendre en France
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Vendu
ID: 9385677
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
Conditioning station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
Skywhite front fascia
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable gap
Dual zone ESC Cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(30) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(3) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX est un graveur/asher à sec conçu pour les applications électroniques tridimensionnelles à haut volume et les dépôts à grande surface. Il offre une amélioration considérable par rapport aux autres graveurs et cendres en termes de débit, de contrôle des processus et de répétabilité des processus. 2300e4 Exelan Flex DX a un procédé de dépôt avancé qui permet son utilisation dans une variété d'applications. Il est couramment utilisé pour le dépôt de couches minces, ainsi que pour la gravure et le cendrage de substrats de grande surface. Il a quatre sources sélectionnables dont XeF2, O2, NF3, Cl2 et Ar. L'Exelan Flex DX peut être configuré pour accueillir un large éventail de matériaux et de substrats. Un des principaux avantages de LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX est sa capacité à haut débit. Il est capable de produire jusqu'à 37u couches par heure, selon les paramètres de configuration et de processus utilisés. L'etcher/asher est entièrement automatisé pour des processus précis et reproductibles, avec un contrôle intégré des processus et une surveillance des processus. 2300e4 Exelan Flex DX offre également une qualité de procédé supérieure. Sa densité de plasma ajustable et son contrôle de pression permettent d'améliorer l'uniformité et la répétabilité du processus de dépôt. L'Exelan Flex DX est également équipé d'un système de nettoyage avancé, qui aide à rationaliser le processus de nettoyage et à améliorer la répétabilité des processus. De plus, LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX offre plusieurs caractéristiques de sécurité importantes. Ceux-ci comprennent une fonction d'arrêt automatique en cas d'urgence ou d'irrégularité de processus, ainsi que des systèmes de sécurité de verrouillage de charge et de porte-substrat. Ces caractéristiques de sécurité permettent d'utiliser le graveur/asher dans un large éventail d'applications avec un risque minimal. Dans l'ensemble, le 2300e4 Exelan Flex DX est un graveur/asher de pointe conçu pour les applications électroniques tridimensionnelles à haut volume et les dépôts à grande surface. Il offre un débit et une qualité de processus supérieurs, ainsi que des caractéristiques de sécurité importantes pour garantir une sécurité et une répétabilité optimales.
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