Occasion LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX est un graveur/asher qui dispose de plusieurs technologies de pointe pour le contrôle de précision, la flexibilité et les performances. Cet équipement est alimenté par le système de contrôle Exelan Flex DX de LAM, qui offre une intégration logicielle complète et une gamme complète de fonctionnalités, y compris le fonctionnement sélectable O2 ETCH ou haut débit O2 asher, le contrôle étendu de la gravure, le contrôle de la température et le profilage de la température. L'unité comprend un foyer de 4 positions, 42 po 4, qualifié de procédé avec un ensemble de chauffage mobile pour une uniformité optimale. Le foyer est doublé d'un matériau réfractaire en céramique pour des températures maximales de fonctionnement jusqu'à 1600 ° C et d'un générateur RF en option de 250 watts pour la gravure VHF ou ECR. Le logiciel Exelan Flex DX permet une configuration et une simulation de processus faciles et précises, et permet aux utilisateurs d'économiser jusqu'à 64 recettes de processus avec leurs propres paramètres personnalisés. La machine à gaz intégrée est inégalée, ce qui permet d'introduire avec précision jusqu'à quatre gaz utilisés pour la gravure ou l'ashing avec des débits individuels et la purge. La pression et le débit ainsi que les niveaux d'O2 et d'Ar peuvent être surveillés et réglés immédiatement avec le régulateur de débit intégré. Le module catalyseur électrolytique permet aux utilisateurs d'étendre leurs connaissances en réaction au-delà de la gravure ou de la cueillette, pour inclure des processus tels que la croissance de films, le nettoyage électrolytique et la diffusion. 2300e4 Exelan Flex DX comprend également un module sputter de précision avancée, offrant un contrôle indépendant de la cible et de la puissance pour assurer l'uniformité des sputter. Un mécanisme intégré de fermeture de l'obturateur, une chambre rotative pour faciliter la manipulation des échantillons et une pompe quad turbo moléculaire sont tous présentés sur cet outil. Ensemble, ces caractéristiques se combinent pour un niveau supérieur de préparation de surface pour permettre aux utilisateurs de rendre tout processus plus répétable et fiable.