Occasion LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX #293766466 à vendre en France
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ID: 293766466
Style Vintage: 2018
Dielectric etcher
(4) 2300 Flex GX
2300e4 Platform
(4) Heated foreline manometer
(4) Chemraz vacuum valve
(4) NSR102216, RPDB for GX
(4) NSR102105, FLEX GX PM
Flex GX Quick clean kit
(4) 2300 Flex GX Jetstream gas box
3 Foup TDK
(4) Hermos carrier ID
WIDS Btm read
RGV/OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
25 Slot aux buffer
VTM Pump: Edwards (EPX)
Vespel single sense
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100ft
Signal light tower, R-O-G-B Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Sys calibration and alignment
Service step for PM
VTM Robot lift
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv Fittings
APCS
NSR10702, N2 Flow monitoring on UP
Gas box:
(36) Jetstream gas line heated
(16) Gas line additional tuning
(4) Gas line non standard MFC
(9) NSR102690, Flex GX Gas line
(8) Flex GX Tuning Gas option
(1) Facility interface box
(17) Facility interface box
AFVi
2018 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe offre une gamme de capacités pour les applications de gravure et d'ashing, offrant une grande précision et fiabilité dans un environnement de production. Le système combine une technologie innovante et des fonctionnalités conviviales pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. 2300e4 Exelan Flex GX dispose d'une plate-forme polyvalente qui prend en charge différents processus de gravure et d'ashing, le rendant adapté à une large gamme d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé de sources de plasma avancées, de systèmes de distribution de gaz et de technologies de contrôle des processus qui permettent un contrôle précis des paramètres de gravure tels que la sélectivité, l'uniformité et le taux de traitement. L'unité offre une flexibilité dans le développement et l'optimisation des processus, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats optimaux pour leurs applications spécifiques. L'une des technologies clés intégrées dans LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX est la machine de contrôle avancée Exelan Flex, qui assure la surveillance et le réglage en temps réel des paramètres du processus. Cet outil offre des capacités de contrôle de processus supérieures, permettant aux utilisateurs d'atteindre une grande uniformité et répétabilité des processus sur l'ensemble des plaquettes. L'actif de contrôle Exelan Flex prend également en charge les recettes de processus avancées et permet une intégration facile avec d'autres outils de processus pour un flux de travail de production continu. 2300e4 Exelan Flex GX est conçu pour une productivité et un débit élevés, avec des fonctionnalités d'automatisation avancées qui réduisent les temps de cycle et augmentent l'efficacité opérationnelle. Le modèle est équipé d'une configuration multi-chambres qui permet un traitement parallèle de plusieurs plaquettes, permettant un haut débit et maximisant l'utilisation de l'équipement. L'équipement comprend également des temps de transfert rapides entre les chambres et des mécanismes de manutention efficaces des plaquettes pour minimiser le temps de ralenti et augmenter la productivité globale. De plus, LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX intègre des capacités avancées de surveillance des processus et de diagnostic pour assurer une performance optimale et la stabilité des processus. Le système est équipé d'outils de métrologie in situ pour la surveillance en temps réel des paramètres clés du processus, permettant de détecter rapidement les écarts de processus et les ajustements pour maintenir l'intégrité du processus. L'unité dispose également d'algorithmes avancés de détection et de prédiction des pannes qui aident à prévenir les interruptions de processus et à minimiser les temps d'arrêt. Au total, 2300e4 Exelan Flex GX est une machine de pointe qui offre des capacités avancées pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa technologie innovante, ses fonctionnalités conviviales et sa productivité élevée, l'outil est idéal pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs. Qu'il soit utilisé pour la gravure, le cendrage ou d'autres applications, LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX offre des performances constantes et fiables pour la production de semi-conducteurs à haut rendement.
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