Occasion LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX #9252292 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX est un graveur/asher multi-chambres conçu pour la production de volume dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure et l'ashing des plaquettes de silicium. Il fournit une solution fiable et hautement automatisée aux besoins de gravure profonde et de cendrage ultra-fin. Le KIYO MCX offre une utilisation efficace du gaz, un débit élevé et une qualité de processus élevée. Le KIYO MCX est conçu pour fournir un processus de gravure et d'ashing ultra-fin, qui est essentiel pour un taux de chute élevé, la formation d'écarts et la couverture par étapes. Il intègre des technologies de pointe telles que LiPS (Lithographie, Plasma Source) et IMPRIME (Ionized Metal Plate Reactor) pour fournir un procédé de gravure haut de gamme avec une grande précision et un contrôle serré des vitesses de gravure. Le KIYO MCX dispose également d'une nouvelle chimie F2 riche en argon pour améliorer la performance et la flexibilité des procédés. Le KIYO MCX est configuré avec deux chambres doubles et une seule chambre. Chaque chambre double est conçue pour le processus de gravure et le processus de cueillette, respectivement. La chambre unique qui est située entre ces chambres doubles est configurée pour le nettoyage physique et le nettoyage d'adhérence. La chambre KIYO MCX utilise les technologies les plus récentes telles que l'ICP (Inductively Coupled Plasma), Sub TIP (Sub-Thermal Ionization) et les sources externes de cavité (ECS) pour fournir des performances supérieures. Les trois chambres sont intégrées dans une unité et gérées centralement par un contrôleur de mouvement personnalisé. Le KIYO MCX offre également une large gamme de fonctions de contrôle et de sécurité. Il est configuré avec des capteurs de sécurité internes et des arrêts d'urgence réglables au niveau du sol. Il est également équipé de systèmes sophistiqués de surveillance thermique et d'isolation pour protéger le processus contre les chocs thermiques. De plus, le KIYO MCX est conçu pour une utilisation de gaz à haut rendement, ce qui se traduit par une consommation de gaz plus faible et des coûts réduits. En outre, son logiciel de pointe fournit le suivi des processus, l'exécution des recettes, les fonctions d'analyse, et un système d'enregistrement des données. Le système de gravure/asher KIYO MCX est conçu spécifiquement pour les besoins de production de volume dans l'industrie des semi-conducteurs. En intégrant des technologies de pointe telles que LiPS, IMPRIME, Argon-rich F2 Chemistry, ICP, Sub TIP et ECS, il est en mesure de fournir des processus de gravure/ashing supérieurs avec une extrême précision. En outre, il offre une large gamme de fonctions de contrôle et de sécurité, ce qui est essentiel pour la sécurité des procédés dans la production à haut volume. Enfin, son logiciel de pointe fournit un suivi des processus, l'exécution des recettes, des fonctions d'analyse et un système d'enregistrement des données afin de maximiser l'efficacité des processus et les économies de coûts.