Occasion LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX est un graveur/asher, conçu pour des processus multiples, sur différents substrats. Il est équipé d'une grande surface de traitement de 2650 mm x 1950 mm, lui permettant d'accueillir jusqu'à trois plaquettes de 300 mm en une seule fois. Le matériel a été conçu pour intégrer quatre zones de processus, le mode processus multiple intégré (PMI), et 8 configurations de zones optionnelles. Le 2300e5 est conçu pour fournir un contrôle avancé des processus et une capacité de dérive à faible métallisation (LMD), et dispose d'un capteur optique en chambre optionnel qui permet une plus grande répétabilité et uniformité des processus. Il est construit avec un équipement de livraison automatisé pour la manutention rapide et facile du substrat, et dispose d'un système de verrouillage de sécurité avancé pour réduire le risque de contact humain avec les composants de la chambre pendant le fonctionnement. Le 2300e5 est construit avec plusieurs caractéristiques pour un processus rapide et efficace. Ces caractéristiques comprennent des réglages en temps réel pour RF, gaz et régulation de température, une unité de recuit thermique rapide (RTA), et une pompe à vide de grande taille pour faciliter les évacuations rapides. La machine est hautement personnalisable, avec une gamme de sources de plasma, des alimentations électriques et des recettes de processus. L'Exelan Flex EX offre également des capacités complètes de surveillance et de déclaration, y compris l'affichage en temps réel des variables de processus, l'auto-étalonnage et les étalonnages automatisés des écarts et des focalisations, un moniteur de vitesse de gravure in situ et un programme RTP. L'accès au matériel, au logiciel et au contrôle intégrés de la 2300e5 peut se faire via CCom et des interfaces série, ou via une interface utilisateur connectée Ethernet. 2300e5 Exelan Flex EX est conçu pour fournir aux utilisateurs un processus de gravure et de cueillette efficace et fiable sur plusieurs substrats utilisant des processus multiples. Sa combinaison de matériel avancé et de logiciels le rend idéal pour une variété d'applications, du traitement avancé des semi-conducteurs à l'impression industrielle et le revêtement. Avec la capacité de traiter jusqu'à trois wafers de 300 mm, et des fonctionnalités telles que le contrôle des processus, certaines capacités d'analyse et de surveillance, le recuit thermique rapide, et un outil de livraison automatisé, LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX est un graveur/asher polyvalent et puissant.