Occasion LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX
ID: 293668506
Dielectric etch.
LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX (Chemical Mechanical Planarization) graveur/asher est un outil de gravure révolutionnaire utilisé pour graver des caractéristiques complexes dans une variété de matériaux. Il s'agit d'un équipement multi-chambres de graveur et asher spécialement conçu pour la R&D et les applications de production. 2300e5 Exelan Flex FX utilise un procédé de planarisation chimico-mécanique (CMP) pour inscrire des caractéristiques très précises et uniformes dans n'importe quel matériau, sans limitation de taille ou de forme. La machine est équipée d'une chambre de gravure double qui est capable de produire des caractéristiques jusqu'à 0,075 microns d'épaisseur avec la combinaison de séries de bombardements ioniques et de gravures chimiques humides ou sèches. Les chambres peuvent être mises en place pour une seule gravure, deux gravures et une seule garniture, ou une opération de gravure/garniture combinée. Tout cela peut être fait in situ, sans avoir besoin de changer de ressources. La machine dispose également d'un système intégré de suivi des plaquettes qui permet à l'utilisateur de superviser le processus de gravure en cours, et la piste d'audit pour les recettes de processus et de gravure. Le logiciel peut même être configuré pour surveiller le point final du processus pour s'assurer que la plaquette est correctement gravée. L'etcher/asher est conçu avec un dispositif de verrouillage de sécurité qui élimine tout risque de rupture ou de manipulation de la plaquette sans autorisation. Les systèmes de réservoir et de pompe sont isolés pour chaque graveur, de sorte qu'il n'y a aucune possibilité de contamination croisée ou de mélange accidentel de différents graveurs. Une des caractéristiques les plus notables de LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX est ses capacités d'automatisation avancées. L'ensemble du processus est géré par une machine de commande qui permet l'intégration avec d'autres systèmes de commande de fabrication et contribue à assurer des résultats reproductibles. L'outil est également équipé d'un protocole de communication OPCUA pour être connecté à d'autres machines locales et distantes. 2300e5 Exelan Flex FX est un actif de graveur/asher polyvalent et fiable conçu pour des applications de production, de recherche et de développement. La machine combine des caractéristiques de précision avancées et une capacité d'automatisation, lui permettant de graver des caractéristiques complexes avec une grande précision et répétabilité. Cela offre aux fabricants une plus grande flexibilité et un meilleur rapport coût-efficacité, leur permettant d'achever des processus de gravure complexes dans des délais courts et avec un minimum de déchets.
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