Occasion LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293732237 à vendre en France
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ID: 293732237
Style Vintage: 2015
Dielectric etcher
(4) H2 Load ports
(4) Chambers: PM1, PM2, PM3, PM4
Gas configuration:
Line / Gas / Flow (SCCM):
1 / C4F6 / 200
2 / COS / 30
3 / O2 / 20
4 / O2 / 3000
5 / CH2F2 / 200
6 / C4F8 / 200
7 / O2 / 200
8 / Ar / 1000
9/ CHF3 / 200
10 / H2 / 300
11 / NF3 / 30
12 / N2 / 500
13 / CF4 / 200
14 / O2 / 10
15 / C4F6 / 10
16 / O2 / 10
17 / C4F6 / 10
Does not included Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC
2015 vintage.
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