Occasion LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX #9252293 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX est un équipement de graveur/asher actuellement sur le marché pour une grande variété d'applications. Il s'agit d'un système multi-chambres, avec quatre chambres de processus intégrées, assurant à la fois la gravure et le nettoyage chimique assisté sous vide. Cette unité dispose d'une très grande chambre offrant un espace généreux pour les composants et les assemblages, permettant le traitement de substrats plus grands et de formes uniques. Il peut être chargé avec un ou plusieurs composants supplémentaires, tels qu'un gestionnaire de plaquettes à bulles intégré, pour plus de commodité et de productivité. La machine est basée sur une source de plasma cathodique creuse DC fiable, offrant une meilleure uniformité et un contrôle précis des vitesses de gravure et de la sélectivité. Il peut atteindre un taux de gravure uniforme sur une gamme de produits chimiques de gravure, et est conçu pour une gravure très rapide d'un large éventail de matériaux. Ce graveur/asher utilise également une fonction de contrôle de purge réglable, lui permettant de gérer le « marbre » plasmatique et d'améliorer les performances des processus d'élimination de la contamination par le carbone. Il est alimenté en courant continu et RF, ce qui permet un contrôle précis des taux de gravure. Le KIYO MCX est également capable de nettoyage chimique utilisant une gamme de solutions. Cela se fait soit par lots, soit en ligne dans les procédés assistés par vide, ce qui permet un nettoyage intégré et ne nécessite pas d'étapes de configuration spéciales par rapport aux procédés par lots. Le nettoyage chimique assisté sous vide peut améliorer considérablement la qualité du nettoyage par rapport au nettoyage classique par lots. L'outil est équipé d'un atout de contrôle qui fournit des capacités avancées telles que le contrôle automatique en temps réel du processus de réponse rapide, permettant une meilleure uniformité et de meilleurs résultats. Il offre également un contrôle automatique de la recette pour réduire la variabilité du processus, et un grand écran tactile écran LCD pour la surveillance et la manipulation de la gravure et des processus propres. En bref, 2300e5 KIYO MCX est un modèle de graveur/asher fiable qui peut être utilisé pour graver rapidement et uniformément une grande variété de matériaux, en utilisant à la fois des alimentations DC et RF. Il fournit également des capacités efficaces de nettoyage chimique assisté sous vide, avec un contrôle automatique avancé des processus. Cela fait du KIYO MCX un excellent choix pour les environnements de production nécessitant des résultats rapides, cohérents et fiables.