Occasion LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP est un graveur/asher entièrement automatisé conçu spécifiquement pour la production de matériaux semi-conducteurs avancés. L'équipement est équipé de fonctions avancées de contrôle des processus pour garantir des processus précis et reproductibles. Les capacités de 2600 E6 Flex FXP sont inégalées dans le développement de matériaux semi-conducteurs avancés. LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asher a le plus haut niveau de reproductibilité du substrat tout au long du processus de gravure et de cueillette. Au cœur du système se trouve un mécanisme de transport de plaquettes qui assure un niveau supérieur de mouvement et d'alignement reproductible du substrat tout au long du processus de gravure et de cueillette. Cette unité permet un contrôle dimensionnel précis et répétable et une cohérence de processus. La machine est conçue pour des applications de gravure plasma ultra haute résolution et asher sur des surfaces planes ou des tranchées profondes et des approches latérales. 2600 E6 Flex FXP offre également une source d'ions à haute concentration et une décharge de lumière à haute pression pour la gravure, combinée à une cendre de plasma de haute qualité pour des performances de processus élevées. Le plasma intense donne la flexibilité pour traiter une gamme de types de plaquettes pour une variété d'applications. L'outil utilise également plusieurs sources de plasma pour permettre des taux de gravure élevés et une large fenêtre de processus. Pour un contrôle optimal des processus, LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP offre également une gamme complète de fonctions avancées de contrôle des processus, y compris le contrôle des points d'extrémité et la rétroaction température/pression en temps réel. 2600 E6 Flex FXP est un outil essentiel pour tout environnement avancé de fabrication de matériaux semi-conducteurs, fournissant des processus reproductibles et reproductibles et des niveaux élevés de contrôle des processus. La combinaison de performances supérieures de gravure/ashing de substrat, de rétroaction avancée de contrôle de processus et d'une précision de processus exceptionnelle fait de LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP un outil incontournable pour la production avancée de semi-conducteurs.
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