Occasion LAM RESEARCH 300NX #9257375 à vendre en France

LAM RESEARCH 300NX est un graveur et asher pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. 300NX est compatible avec une gamme de produits chimiques à base de liquide, de lisier et de gaz et est capable de graver le plasma et d'aspirer le plasma, ce qui en fait l'outil parfait pour la production à petite ou moyenne échelle. Il est conçu pour gérer des géométries complexes de plaquettes et a une dimension de chambre de processus de 18 « x18 » x24 « avec une zone de traitement de 16 ». LAM RESEARCH 300NX possède un design unique de tête de douche qui utilise une plaque de chicane tournante pour gérer efficacement la cascade des produits chimiques pour l'uniformité sur toutes les surfaces des plaquettes. En outre, il dispose d'un anneau de refroidissement sous-ambiant réglable verticalement pour réduire la température de la plaquette, ce qui améliore la répétabilité du processus. L'équipement peut être entièrement automatisé et contrôlé à distance, et toutes les recettes et paramètres peuvent être stockés pour un rappel et une récupération faciles. 300NX est également équipé d'un système d'observation de pointe et d'une interface graphique conviviale permettant de surveiller, d'optimiser et d'effectuer en permanence la maintenance sur le graveur. Pour une productivité maximale, LAM RESEARCH 300NX dispose d'une unité de manutention des plaquettes de voie qui est conçue pour augmenter le débit des plaquettes et réduire les temps de cycle. Il dispose également d'une machine de partition de processus en 3 étapes qui permet d'effectuer jusqu'à trois processus d'appareil avec la même plaquette. En outre, l'autocontroller offre une foule d'outils de contrôle de processus, tels que les contrôleurs de sous-processus et les contrôleurs de cycle, qui peuvent être utilisés pour peaufiner l'optimisation des processus. 300NX a une empreinte de 61 "x198" x103 "et dispose d'un outil de contrôle environnemental qui assure une atmosphère stable dans la chambre de procédé. Il est équipé d'une serrure de charge pour prévenir la contamination et est conforme au RoHS. Au total, LAM RESEARCH 300NX est un graveur et asher très avancé pour des procédés complexes de fabrication de semi-conducteurs.