Occasion LAM RESEARCH 300NX #9375202 à vendre en France

LAM RESEARCH 300NX est un équipement Etcher/Asher conçu pour les procédés de dépôt en couches minces dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système est une unité de dépôt sous vide multi-chambres capable de fonctionner par lots, monobloc et procédés de production séquentielle. La machine est composée de trois chambres principales, chacune avec son propre contrôle des gaz de procédé et la capacité d'évacuer à la base des pressions de 10-7 mBar. La première chambre est la chambre de chargement, avec une pince de charge conçue pour fixer la plaquette et une plate-forme capable de supporter jusqu'à cinq plaquettes. Une fois la plaquette chargée, la chambre est évacuée par la turbomachine pour atteindre la pression désirée. La deuxième chambre est la chambre de procédé principale, qui contient la source d'ions électrostat qui contrôle le processus réactif de gravure d'ions. Il s'agit d'une source de polarisation continue, le courant continu, qui agit pour fournir de l'énergie ionique au processus de gravure. En outre, la chambre de procédé contient un générateur de plasma avec un réchauffeur intégré pour contrôler le profil de température pendant la gravure. La troisième chambre est la chambre d'évent, où la pression est libérée à l'atmosphère. 300NX fournit plusieurs caractéristiques pour augmenter le débit, améliorer le contrôle et l'uniformité des processus, et augmenter la répétabilité des processus. Il est équipé d'un mandrin elliptique de précision pour assurer un bon alignement entre la plaquette et la source d'ions, ainsi que d'une fonction pilote automatique qui maximise l'uniformité et la répétabilité des gravures. L'outil fournit également la détection 3D des points d'extrémité et la cartographie de la température du substrat, afin que les utilisateurs puissent surveiller les points d'extrémité du processus et détecter les variations de température. LAM RESEARCH 300NX est construit en acier inoxydable et conçu pour répondre aux normes de la classe 1 salle blanche, fournissant un environnement sans poussière pour le traitement de routine des gravures. Un panneau de contrôle central fournit un environnement de travail intuitif, permettant aux utilisateurs ayant différents niveaux d'expérience d'exploiter l'actif. Sa stabilité et sa réparabilité en font un modèle très fiable pour toutes les applications de gravure de semi-conducteurs.