Occasion LAM RESEARCH 384T #9383400 à vendre en France

LAM RESEARCH 384T est un graveur (aussi appelé asher) qui convient principalement au nettoyage, au développement et à la gravure des substrats utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement dispose d'une chambre de traitement en acier inoxydable avec un piédestal RF principal, qui génère le plasma grâce à sa capacité à créer les niveaux de température et de puissance nécessaires. La chambre de procédé est enfermée dans une enveloppe de vide, qui peut être maintenue à un niveau de vide de 10-7 torr. On s'est efforcé de concevoir un système aussi compact que possible, avec des composants de support, tels que la chambre secondaire, situés à l'extérieur de la chambre principale de traitement. L'unité dispose également d'un module d'alimentation à polarisation multi-portes qui fournit les exigences de puissance nécessaires pour le processus de gravure, jusqu'à 2000 watts de puissance RF. Cette puissance est réglable par paliers de 0,2 kW, et la machine peut également être programmée pour fournir plusieurs puissances de sortie simultanément. La chambre de procédé utilise une approche descendante, permettant un traitement plus rapide et l'élimination plus facile des sous-produits gazeux. En outre, les systèmes d'outillage comprennent également une plaque à fente cloisonnée, qui peut être ajustée pour permettre la sélection de différents flux de gaz, ce qui apporte une plus grande souplesse au processus de gravure. La chambre de procédé utilise une seule source de gaz mixte qui peut fournir un certain nombre de gaz de source différents pour le procédé à une chambre à vide secondaire. Cela permet un traitement plus rapide, ainsi qu'une utilisation plus efficace du processus de gravure. L'actif comprend également un modèle avancé de régulation des gaz, permettant aux utilisateurs de réguler précisément la distribution des gaz de procédé dans la chambre. L'équipement est conçu avec des jets de refroidissement latéraux, qui éliminent efficacement la chaleur du processus, permettant des niveaux de puissance plus élevés et un fonctionnement à basse température. Enfin, le système dispose d'une option de diagnostic à distance, avec une interface de communication Modbus RTU qui facilite la surveillance et le contrôle à distance de l'unité. Globalement, 384T est un graveur/asher avancé qui est conçu pour fournir aux utilisateurs une solution efficace, précise et rentable pour le traitement des substrats semi-conducteurs. La conception de la machine supporte des températures élevées, jusqu'à 2000 watts de puissance RF et de nombreuses sources de gaz, et ses fonctions de contrôle avancées offrent une surveillance et un fonctionnement faciles.