Occasion LAM RESEARCH 4400 #9292700 à vendre en France

LAM RESEARCH 4400 est un graveur/asher de production de pointe conçu pour répondre aux besoins des applications de fabrication de dispositifs microélectroniques les plus exigeantes. Il est doté de la technologie à double faisceau Plasma Enhanced CVD (PECVD), associée à l'équipement propriétaire de distribution de gaz. Ce conditionneur de surface assure un procédé de gravure ou d'élimination homogène et répétable de diélectriques durs ou de micro-cavités, ainsi qu'une cueillette plasma de résistance de haute précision. 4400 dispose d'un design modulaire qui permet une flexibilité et une évolutivité maximales. Son système intelligent de reconnaissance de motifs garantit des résultats précis et uniformes tandis que ses grands paniers préemballés permettent des transferts faciles et efficaces entre les opérations. Ce graveur/asher a une grande distance source-substrat, qui offre une durée de vie accrue et une plus grande uniformité de champ, permettant une vitesse de gravure élevée et de faibles variations de profondeur de gravure. De plus, sa technologie optionnelle d'alimentation modulée en fréquence bipolaire permet l'élimination des polymères et résistances à diffusion lente. LAM RESEARCH 4400 dispose également d'une capacité de manutention autonome et semi-autonome des plaquettes pour un chargement, un déchargement et un masquage rapides et faciles. Son interface utilisateur intuitive basée sur Windows fournit une communication fiable et la commodité. 4400 est capable de réaliser diverses applications de gravure et d'ashing, telles que MEM et NVM, SIR (Simultaneous Oxide Grach and Removal), poly Gate Grach, Hard Mask Open Grach, Poly and Oxyde Grach, Poly Oxyde Strip, Oxyde Planarize, Poly-Well Grach, et Hard Dicing. Cet etcher/asher offre une large gamme de capacités de recette et permet des combinaisons d'étapes réglables pour ajuster les temps d'exposition et le débit/pression de gaz. De plus, il présente des coûts de portefeuille de processus faibles, un débit élevé et des temps de cycle améliorés. Pour assurer la sécurité des opérations, LAM RESEARCH 4400 offre une unité de surveillance complète avec des capteurs de pression, de température et de purge des chambres. Cet etcher/asher fournit également un support optionnel pour les gaz cryogéniques et offre une machine à lentille haute résolution pour la précision d'alignement. Au total, 4400 offre des niveaux de performance et de productivité inégalés, ce qui en fait l'un des meilleurs systèmes de graveur/asher sur le marché aujourd'hui.