Occasion LAM RESEARCH 4400 #9311438 à vendre en France

LAM RESEARCH 4400 Asher est un outil de traitement du plasma conçu pour réaliser des couches et des structures de gravure et de dépôt sur des plaquettes semi-conductrices. Cet outil utilise une source de plasma multiRF inductivement couplée et un équipement automatisé de régulation de gaz mass- flow™ pour permettre une distribution précise du gaz et un contrôle continu des processus. Le cendrier peut travailler avec une variété de gaz et de recettes, permettant une grande personnalisation et expérimentation. En outre, 4400 dispose d'un système de surveillance des gaz IR robuste et sans contact pour la surveillance complète et le contrôle des processus en temps réel. LAM RESEARCH 4400 Asher est équipé de kits de processus x3x et x4x, ce qui signifie qu'il peut charger le dépôt de gravure et les recettes asher à des fins d'amplification de puissance. Il dispose d'une chambre de serrure chauffée pour la manutention répétable et précise du substrat, d'une grande chambre de processus pour la manutention des plaquettes plus larges et d'une petite chambre pour les processus de retournement rapide. 4400 est conçu pour la gravure précise, le cendrage fiable et le dépôt précis de couches minces. Il utilise Kerfless Plasma™ et la compensation de gravure pour contrôler la précision de la gravure et du dépôt. L'outil comprend une unité de veille et un moniteur de dépôt pour contrôler le niveau de fluence du bombardement ionique. Il comprend également un procédé de revêtement révolutionnaire qui élimine l'accumulation de polymère sur les parois de la chambre de gravure. LAM RESEARCH 4400 présente de nombreux paramètres de processus tels que la composition du gaz, la pression, la puissance RF, la puissance de défilement RF, la puissance d'inversion RF, la température du substrat, le débit massique, la pression partielle de la chambre, la tension de polarisation, la polarisation du substrat, etc. Ces paramètres peuvent être ajustés finement pour fournir les meilleurs résultats de processus. 4400 Asher est également équipé de sa propre machine de surveillance de gravure haute résolution (HRES), une version avancée du moniteur de dépôt qui ajoute aux capacités de cet outil. Il permet la plus haute vitesse de gravure possible et la précision pour le plus haut degré de précision de couche. LAM RESEARCH 4400 Asher est conçu pour maximiser la perfomance et les rendements et pour répondre aux normes exigeantes de la demande actuelle de traitement de siwafer. Le cendrier peut manipuler de grands et petits diamètres de plaquettes, avec une surface de traitement maximale de 406mm. Son contrôle de processus reproductible et précis permet des résultats lisses, fiables et propres.