Occasion LAM RESEARCH 4420 XL #9399006 à vendre en France

LAM RESEARCH 4420 XL etcher/asher est une solution peu coûteuse pour de nombreux besoins de gravure et ashing. Cet équipement est largement utilisé dans les industries des semi-conducteurs et des MEMS pour les procédés de gravure et de cueillette. Il est capable de traiter jusqu'à 6 pouces (150 mm) de plaquettes avec une pression maximale de 100 Torr. La vitesse de gravure et la précision sont également très impressionnantes pour un système à faible coût car il peut graver et comme à des vitesses élevées de 300 mm/min avec une précision d'extrémité normalisée de ± 0,003 pouce (0,08 mm) par plaquette. LAM RESEARCH 4420XL est une unité modulaire, c'est-à-dire qu'elle peut être adaptée aux besoins spécifiques des utilisateurs en choisissant des pièces spécifiques telles que des sources de gaz, des systèmes de distribution de gaz et des chambres. La machine est capable de graver et d'aspirer avec une large gamme de gaz, y compris SF6, CF4, O2, CF4/O2, Ar et HBr. Il dispose également de plusieurs technologies de gravure avancées telles que RIE, magnétron et OBIRCH, permettant aux utilisateurs d'adapter l'outil à leurs besoins spécifiques de processus. 4420 XL comprend également une gamme d'outils avancés de contrôle des processus, y compris l'autotuning et l'appariement des substrats, qui aident à s'assurer que les recettes de processus sont optimisées. L'actif comprend également deux outils de diagnostic qui permettent aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure et de cendre, y compris un détecteur de point d'extrémité et un analyseur de gaz in situ. 4420XL possède également de nombreuses caractéristiques de sécurité, y compris un modèle de verrouillage RF qui empêche le traitement des plaquettes si certaines conditions ne sont pas remplies. De plus, l'équipement dispose d'un bouton d'arrêt d'urgence et d'un module intégré de contrôle d'alimentation sous vide, ce qui permet de s'assurer qu'aucun processus n'est effectué à moins que le système soit prêt et sûr. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 4420 XL est une excellente unité de graveur/asher et est une option fiable et abordable pour de nombreux besoins de gravure et ashing.