Occasion LAM RESEARCH 4420 #9198093 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4420
ID: 9198093
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8" (8) Stick gas boxes.
LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcher est un système de gravure sèche haute performance, conçu pour fournir une répétabilité optimale, le contrôle des processus et le débit. Il est équipé de fonctionnalités avancées, y compris le contrôle thermique à grande vitesse, le contrôle de vitesse de gravure, et la capacité de nettoyage in situ. Il offre également la flexibilité de fonctionnement automatisé et la flexibilité de processus pour de multiples applications. 4420 est capable de traiter un large éventail de substrats, à partir de plaquettes en verre, polyimide, semi-conducteur, etc. Il est équipé d'un tube de gravure à quartz avancé qui fournit une température, une pression et un contrôle de débit uniformes. Les mécanismes de gravure avancés tels que le mode double plasma, le contrôle de la puissance à fréquence variable et la longue durée d'impulsion pour la gravure profonde, permettent de plus grandes capacités de processus que la gravure en un seul étage. La conception multi-chambres de LAM RESEARCH 4420 permet une gravure anisotrope et isotrope. Le mode de gravure anisotrope utilise un processus de gravure en trois étapes avec un contrôle de vitesse de gravure supérieur. Il dispose également d'un design de chambre optimisé pour assurer des performances de gravure cohérentes. 4420 dispose également d'un système de purge automatisé avec fluide sans CFC, conçu pour assurer une répétabilité élevée, le contrôle du processus et le débit. Il est équipé d'un système de vide efficace avec uniforme dans toute la chambre de processus. De plus, LAM RESEARCH 4420 est soutenu par un logiciel qui permet l'acquisition de données, le diagnostic à distance et la programmation de recettes pour de multiples applications. Il dispose également d'une gamme complète de capteurs et de diagnostics qui permettent un contrôle optimal des processus et une assurance qualité. Dans l'ensemble, 4420 est un graveur/asher puissant et économique avec des fonctionnalités avancées qui assurent l'uniformité, la répétabilité et le contrôle des processus. Il permet également une flexibilité de processus rapide pour une variété d'applications, avec une interface facile à utiliser et une offre complète de support client.
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