Occasion LAM RESEARCH 4420 #9233411 à vendre en France

LAM RESEARCH 4420 est un équipement de graveur-asher, conçu pour des processus efficaces et productifs de gravure par plasma et de cendres sèches. Il est capable de supporter jusqu'à quatre modules de processus, offrant une configuration flexible et polyvalente pour l'environnement difficile de la production de semi-conducteurs. 4420 offre des sources de plasma analogiques et numériques, donnant un contrôle accru des processus et une variabilité disciplinée dans les applications. LAM RESEARCH 4420 est également modifié pour les procédés plasmatiques haute densité, ainsi que pour la gravure SiOF et le nettoyage Post-cendres. 4420 a une conception économe en énergie, réduisant la consommation d'énergie et les coûts d'exploitation. Il dispose de modules de processus de grande surface, permettant des débits de processus plus élevés que des systèmes comparables. Il dispose également d'un sous-système intelligent pour optimiser automatiquement les paramètres plasmatiques, assure stabilité et uniformité dans les résultats de gravure, indépendamment de la sélection de la recette. LAM RESEARCH 4420 offre une large gamme de capacités de processus et une flexibilité de solution complète, offrant un coût de propriété moindre. Il peut accueillir une variété de substrats et de procédés, tels que la gravure monobloc ou en mode lot, la gravure en maille, la gravure en plusieurs étapes, la gravure à bande, la passivation, le soulèvement au pochoir et le nettoyage après cendres. Grâce à la reconnaissance et à la commande des caractéristiques de précision, 4420 peuvent fournir une gravure à grande vitesse dans des processus tels que AMS, IPE, RIE, Ozone, UV ou UVPlus HiP-CVD. Par rapport aux systèmes précédents, LAM RESEARCH 4420 offre des capacités de modularité et d'évolutivité améliorées, réduisant considérablement la complexité et éliminant les contrôles coûteux. Son système de contrôle intégré offre une meilleure gestion des processus, permettant la fiabilité de la mise en œuvre et la répétabilité de recettes complexes. En termes de sécurité et de performance environnementale, 4420 est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes. Il dispose d'une variété de dispositifs de sécurité, y compris plusieurs points de surveillance des gaz d'échappement et une unité de confinement d'incendie. En outre, la machine est conçue pour minimiser les temps d'entretien et d'arrêt, et elle est conforme aux directives de sécurité SEMI S2 et S8. En fin de compte, LAM RESEARCH 4420 offre une gravure et une ashing flexibles et fiables pour relever les durs défis actuels en matière de production de semi-conducteurs. Il offre des performances de processus supérieures et une productivité améliorée, et est un choix fiable pour les applications existantes et nouvelles.