Occasion LAM RESEARCH 4420 #9262592 à vendre en France

LAM RESEARCH 4420 est une plaquette simple, un asher de lot ou un graveur conçu pour des processus de production ou de recherche à haut débit, flexibles. La plate-forme 4420 permet des vitesses de gravure allant jusqu'à 15nm/min et permet aux utilisateurs d'effectuer une variété de processus de gravure spécialisés, y compris la gravure de faisceau d'ions, la gravure de silicium noir, la bande de résistance et la gravure d'oxyde. Il fournit des capacités avancées de contrôle et de surveillance des processus et est conçu pour la précision, la fiabilité et la reproductibilité des processus. L'équipement est composé de plusieurs composants primaires ; une chambre à vide compacte, un système de distribution multi-gaz, une unité de vision de ligne de visée, une machine à rotation de pulvérisateur et un contrôleur. La chambre à vide est réalisée à partir de matériaux tels que l'acier inoxydable et l'aluminium qui ont été optimisés thermiquement et structurellement pour son application. La conception de la chambre est centrée sur le procédé RIE (Reactive Ion Etch) et comprend à la fois une étape de gravure primaire et secondaire pour un débit plus élevé. L'outil de distribution multi-gaz permet d'intégrer plusieurs gaz dans le processus de gravure. Cela permet une plus grande flexibilité lors de la définition de recettes de processus complexes. Il permet également des taux de gravure plus élevés que ceux obtenus avec des procédés à gaz unique. L'atout de vision en ligne de visée est un microscope optique avec du matériel de vision intégré, qui surveille le processus de gravure en temps réel et fournit une rétroaction de processus pour assurer l'exactitude et la répétabilité du processus. Le modèle de rotation du suscepteur utilise un moteur à courant continu sans balai avec une vitesse variable et un contrôleur RS-485 pour optimiser l'uniformité de vitesse de gravure sur la plaquette. Le contrôleur est le cerveau de l'équipement et est responsable du contrôle des variables de processus, fournissant des résultats précis et reproductibles. Il dispose d'une interface tactile intuitive, d'une interface graphique basée sur Windows et d'une connexion Ethernet pour l'accès à distance et la recherche de données. LAM RESEARCH 4420 est un graveur/asher avancé capable de réaliser une variété de processus de gravure avec précision, fiabilité et répétabilité de processus. Ses recettes de processus à haut débit et flexibles en font un outil idéal pour des applications de production et de recherche à haut volume.