Occasion LAM RESEARCH 4420 #9401523 à vendre en France

LAM RESEARCH 4420 etcher/asher est un outil de procédé avancé de gravure et de nettoyage en phase vapeur conçu pour fournir des profils et des finitions de surface parfaits pour les substrats semi-conducteurs sensibles. Le système très efficace et rentable comprend plusieurs sources de plasma, la manipulation de précision du substrat, le conditionnement du substrat et les capacités de surveillance et de contrôle des processus. 4420 etcher/asher est spécialement conçu pour apporter des solutions aux défis de fabrication posés par la réduction des complexités générationnelles dans les zones des dispositifs semi-conducteurs. LAM RESEARCH 4420 etcher/asher utilise une conception à double chambre avec gravure ionique réactive séparée (RIE) et chambres à plasma propre à distance (RPC). Cela fournit aux utilisateurs une variété d'options de processus, leur permettant d'ajuster les paramètres de processus pour effectuer au mieux un large éventail d'applications. La chambre de procédé est composée d'un corps en silicium polycristallin et d'un couvercle, d'un revêtement en acier inoxydable et d'un suscepteur en quartz, avec des électrodes revêtues de titane. 4420 est un outil basse pression, fonctionnant dans la gamme de 0,2 - 0,4 mTorr pression de base. LAM RESEARCH 4420 offre également un contrôle avancé des paramètres de processus et le développement de recettes pour les développeurs finaux. Les recettes de processus peuvent être personnalisées pour répondre aux exigences spécifiques pour une application donnée. La commande avancée du système 4420 permet un contrôle précis de la sélectivité et de la vitesse de gravure, de la profondeur et du profil de gravure, de l'angle d'attaque et de la finition de la surface cible. Les chambres RPC de LAM RESEARCH 4420 permettent des processus de gravure et de nettoyage peu endommagés pour les diélectriques et les matériaux, avec un détecteur de point d'extrémité en option pour un meilleur contrôle des processus. 4420 offre également des avantages uniques à l'utilisateur. Les avantages comprennent une pulsation à basse énergie et un contrôle rapide de la température qui permettent une meilleure uniformité de la température dans la chambre de procédé et des rendements améliorés. LAM RESEARCH 4420 est également compatible avec une large gamme de recettes, et l'interface utilisateur simple facilite le développement de recettes personnalisées. 4420 est un graveur/asher polyvalent et fiable capable d'un large éventail de capacités de processus. Ce système avancé assure une gravure précise, répétable et des performances propres au plus haut niveau, offrant aux utilisateurs des résultats de processus impeccables et un moindre coût de propriété.