Occasion LAM RESEARCH 4500 #293600180 à vendre en France

LAM RESEARCH 4500 est un équipement avancé de gravure/aspérité conçu pour produire efficacement une variété de motifs gravés sur des substrats semi-conducteurs avec précision et précision. Ce système de gravure est équipé d'une unité de distribution de gaz avancée et peut supporter une variété de gaz, y compris SF6, O2, C4F6, NF3 et C3F8. Il comprend également une chambre de verrouillage de charge et une chambre de nettoyage in situ ainsi qu'une source de plasma, permettant à l'utilisateur d'effectuer des gravures en un seul cycle opératoire. La machine dispose d'un large éventail de capacités de processus, y compris le nettoyage in situ, l'activation du plasma, la gravure et la passivation de surface. Ceci est dû à sa grande plage de chauffage de -70 ° C à + 300 ° C, le rendant adapté à différents matériaux, tels que Si, SiO2, GaAs, et InP. En outre, il offre un contrôle fin des paramètres de gravure tels que la température, la puissance de gravure ionique réactive (RIE), la pression de la chambre et le temps, ce qui permet de réaliser des caractéristiques gravées avec précision avec des rapports d'aspect bien contrôlés. 4500 fournit un excellent débit de plaquettes, grâce à sa conception à haut débit de la chambre de serrure de charge, ce qui le rend adapté à des environnements de production à haut volume. Cet outil offre une sécurité et une protection de l'environnement exceptionnelles, car il est équipé d'une variété de mécanismes de sécurité dont un actif de surveillance de la pression embarquée et un modèle d'auto-purge. Il comprend également un module intégré d'inspection des plaquettes et une buse isolée pour réduire les particules induites par le processus. De plus, LAM RESEARCH 4500 offre une analyse approfondie des processus et un contrôle des données, permettant aux utilisateurs de peaufiner le processus de gravure et de surveiller les résultats en temps réel. Une connexion Wi-Fi en option permet d'accéder à distance et de contrôler l'équipement, tandis qu'un écran tactile intégré permet aux utilisateurs d'interagir directement avec le processus de gravure. Cela permet de modifier rapidement et facilement les paramètres et de contrôler les résultats, améliorant ainsi l'efficacité des processus de bout en bout. 4500 fournit une solution de gravure/gravure fiable et rentable pour une variété d'environnements de production. Sa conception avancée, ses capacités de processus et ses caractéristiques de sécurité en font un choix idéal pour les opérations de gravure et de passivation.