Occasion LAM RESEARCH 4500 #9226300 à vendre en France
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ID: 9226300
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1990
Etcher, 5"
1990 vintage.
LAM RESEARCH 4500 est un équipement de graveur-asher utilisé pour la gravure isotrope et anisotrope de plaquettes semi-conductrices. C'est un équipement de pointe qui intègre des technologies de pointe telles que la robotique et les procédés chimiques humides. Avec une taille de chambre de 36 "et une puissance de 500 watts, 4500 est conçu pour fournir d'excellentes performances dans une variété d'environnements de production et des exigences de gravure. Le système comporte deux chanfreins de processus : la chambre de pré-gravure, où les dépôts et les gravures chimiques sont effectués ; et la chambre de gravure, où la plaquette est placée dans un champ de gravure isotrope. En plus de fournir un environnement sûr pour une gravure fiable, l'unité fournit également d'autres composants tels que la source de gravure in situ RF, la machine de nettoyage in situ, le collecteur de gaz et l'outil de manutention automatique des plaquettes. L'actif est conçu pour la gravure haute performance des plaquettes de silicium, ainsi que de l'arséniure de gallium (GaAs) et d'autres semi-conducteurs. Les profils de gravure peuvent être personnalisés pour optimiser la précision, la vitesse et la complexité. Grâce à l'utilisation de processus automatisés et de sources de gravure RF in situ, le modèle fournit les performances et la fiabilité requises des ingénieurs de traitement. LAM RESEARCH 4500 est capable de fonctionner dans une gamme de températures allant de 250 ° C (482 ° F) à 650 ° C (1202 ° F). Il utilise également des systèmes de mouvements industriels avancés pour fournir des résultats précis, offrant des performances répétables. L'équipement comprend des chambres en céramique/métal/plastique pour résister à toute contamination potentielle de la plaquette. Enfin, le système complet de surveillance des processus de 4500 assure la fiabilité et le suivi de l'environnement de production. Cette unité simplifie le processus de collecte de données, permettant une communication rapide et facile entre l'ingénieur et la machine. LAM RESEARCH 4500 offre une solution rapide, précise et fiable pour la gravure isotrope et anisotrope des plaquettes semi-conductrices.
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