Occasion LAM RESEARCH 4500 #9311439 à vendre en France

L'équipement LAM RESEARCH 4500 gravure/cendres est un système entièrement automatisé de gravure/cendres ultra-haute précision qui est capable de produire des plaquettes de haute qualité avec une seule étape du processus et le suivi de la ligne de visée des plaquettes. L'unité est conçue pour offrir une flexibilité remarquable, permettant d'effectuer jusqu'à quatre étapes de traitement en un seul processus. La machine comporte deux postes de travail qui contiennent chacun une source de matériau ferromagnétique gravé (EFMS) et une chambre électro-optique qui contient un plateau intra-axial élevé qui effectue diverses opérations de traitement, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt de couche atomique (ALD). Il supporte le traitement des plaquettes à base de recettes, y compris la technologie standard, haute densité et hiérarchique, avec des températures allant jusqu'à 30 ° F. L'outil dispose également d'un fin-effecteur avec un distributeur chimique et un bouton de commande à action rapide qui permet un contrôle rapide et précis du temps de gravure, de la température et de la pression. L'actif 4500 gravure/cendres utilise une combinaison unique des outils de gravure mono-processeur, micro-échelle et double face, contrôle optique de la manipulation des plaquettes pour offrir une précision et une répétabilité supérieures. Le modèle dispose également de vitesses de transfert rapides de plaquettes à plaquettes et d'une plate-forme avant flexible qui permettent un traitement efficace et précis. La grande précision de cet équipement est le résultat de sa concentration sur la stabilité dimensionnelle, l'uniformité du nivellement, la gestion thermique, la précision des capteurs et le contrôle des processus. Ce système est idéal pour les processus de gravure/ashing qui nécessitent une excellente cohérence et répétabilité pour les processus à la fois répétables et spécialisés. Il est capable de produire des produits de plaquettes de haute qualité et de haute précision avec une répétabilité unique et est l'unité préférée pour les applications nécessitant une précision et une surveillance élevées.