Occasion LAM RESEARCH 4500i #9250092 à vendre en France

LAM RESEARCH 4500i est un graveur/asher à sec spécialement conçu pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise une combinaison unique de trois technologies de gravure - dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), gravure ionique réactive (RIE) et plasmas inductifs couplés (ICP) - pour obtenir une large gamme de profils de gravure désirés sur des substrats. Cet outil de gravure polyvalent peut être utilisé pour la gravure de tranchées et de contacts dans les portes métalliques, la gravure d'espaceur pour STI, la gravure damascène et diélectrique pour les interconnexions, le découpage de plaquettes et les applications de gravure latérale arrière. 4500i est capable de plusieurs tailles de plaquettes jusqu'à 200mm avec des températures de substrat jusqu'à 300 ° C LAM RESEARCH 4500i est un système de gravure exceptionnellement avancé avec de nombreux avantages distincts. Il intègre une vaste gamme de caractéristiques techniques, y compris l'intégration d'un spectromètre de masse rapide quadrupolaire (QMS), une grande chambre à quartz avec une charge maximale de 26 plaquettes, et une variété de gaz de procédé disponibles pour la gravure. Le système d'alimentation dynamique multi-gaz contrôlé par LCD obtient des conditions de processus optimales pour les processus dynamiques, et un générateur de plasma à refroidissement rapide (RPC) intégré à haute performance minimise les dépassements de puissance indésirables et maximise le contrôle des processus. En outre, 4500i est équipé de technologies Piezo Tune-and-Lock (PTL) pour une répétabilité de processus supérieure sur des caractéristiques de ratio d'aspect élevé. LAM RESEARCH 4500i est le premier outil de gravure/ashing pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Sa gamme impressionnante de fonctionnalités et de capacités offre une stabilité et un contrôle de processus supérieurs, permettant ainsi une fabrication d'appareils de meilleure qualité dans un délai plus court. Une surveillance des procédés très avancée et des systèmes d'échappement locaux garantissent des opérations de traitement sûres et propres. Avec son système d'alimentation dynamique multi-gaz et la technologie Piezo Tune-and-Lock, 4500i est une solution de gravure et d'ashing incontournable pour la fabrication d'appareils de qualité supérieure.