Occasion LAM RESEARCH 4500iB #9250093 à vendre en France

LAM RESEARCH 4500iB est un équipement de graveur/asher haut de gamme, conçu pour la gravure de haute précision de petites caractéristiques géométriques précises telles que les fenêtres de contact pour circuits intégrés. Le système est équipé d'une variété de contrôles automatisés et d'options pour le processus de gravure. L'unité intègre un étage de réacteur horizontal avec un chauffe-wafer unique, et une électronique de commande avancée et un logiciel de contrôle de mouvement. La machine est conçue pour les techniques de film mince et épais, et peut être configurée pour des rapports d'aspect complexes. L'outil prend en charge les techniques de gravure côté avant et côté arrière à l'aide d'une large gamme de produits chimiques de gravure, y compris CF4, oxygène, argon, CHF3 et fluorure d'hydrogène. L'actif dispose d'une faible empreinte et d'un design léger, ce qui lui permet d'être facilement intégré dans les lignes de fabrication existantes. L'équipement de commande de mouvement de haute précision du modèle est capable de contrôler les mouvements linéaires et rotatifs avec une résolution allant jusqu'à 0,1 µm et jusqu'à 1000 pas par seconde. Le système est capable de fournir des surfaces propres et exemptes d'oxydes avec des profondeurs de gravure allant jusqu'à 1 µm. Pour les fonctions automatisées, l'unité dispose d'une machine automatisée de détection des points d'extrémité, qui surveille l'avancement de la gravure et arrête le processus de gravure à des profondeurs de gravure prédéterminées ou dans d'autres conditions du processus. 4500iB dispose également d'un ensemble de surveillance avancée des processus, qui se compose de nombreux capteurs pour surveiller les paramètres de processus tels que la pression, la température, la tension et la puissance. Ces données peuvent être enregistrées pour une inspection immédiate ou postérieure au processus. L'outil comprend également une fonction d'arrêt automatique Zero-Point Switch. Cette caractéristique garantit que le processus de gravure s'arrête automatiquement en cas de rupture de la connexion électrique. Ceci garantit que le processus de gravure ne se poursuit pas indéfiniment, évitant des dommages thermiques à la plaquette. L'actif est également équipé d'un modèle automatisé de chargement/déchargement des plaquettes pour faciliter l'échange rapide et facile des plaquettes. Enfin, l'équipement dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive, permettant une édition et une surveillance faciles des paramètres du processus. Cela permet une configuration plus rapide et des temps de basculement, réduisant le besoin d'intervention de l'opérateur. En conclusion, LAM RESEARCH 4500iB est un puissant système de graveur/asher, adapté à la haute précision et à la gravure automatisée de petites caractéristiques géométriques.