Occasion LAM RESEARCH 4520 XL #293625775 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 XL est un graveur et asher de pointe conçu pour permettre un traitement précis et répétable des matériaux microélectroniques avancés. Il convient à une variété de matériaux et de procédés, des cristaux piézoélectriques aux semi-conducteurs composés. LAM RESEARCH 4520XL offre un traitement rapide et efficace sur des plaquettes de 6 « ou 8 » jusqu'à 200 mm, sans rupture de plaquette, permettant un débit ultra-élevé sans sacrifier la productivité ou la répétabilité. 4520 XL utilise des techniques de gravure et de cendrage avancées pour permettre un traitement robuste et reproductible. Ses systèmes de contrôle de haute précision minimisent la variabilité et assurent un contrôle exact des paramètres qui déterminent les bonnes performances de gravure ou d'ashing, garantissant des résultats reproductibles. 4520XL est entièrement programmable, ce qui permet de régler facilement les paramètres, de les ajuster et de les ajuster en fonction des exigences du processus. LAM RESEARCH 4520 XL dispose d'une source de plasma à haute densité de puissance pour une plus grande flexibilité dans les applications de gravure et d'ashing. Il dispose également d'alimentations à fréquence variable qui peuvent fournir des niveaux de puissance crête jusqu'à 24kW, avec une plage de tension source 0-1000V, et une plage de courant source 0-10A. Cette gamme de puissance permet une gravure rapide et efficace, même avec des matériaux difficiles. LAM RESEARCH 4520XL est équipé d'un équipement de détection de position de haute précision qui maintient la précision de la position de l'échantillon pour garantir des résultats reproductibles. Il comprend également un système efficace de distribution de gaz et une unité complète de gestion du gaz avec une machine automatique de détection des fuites. 4520 XL est également équipé d'un outil de nettoyage automatisé qui permet plusieurs cycles propres avec une intervention minimale de l'utilisateur. Cet atout possède également des fonctionnalités facultatives telles qu'un réchauffeur à quartz, un capteur de température des plaquettes et une rotation programmable des plaquettes pour des performances de nettoyage de haute qualité. 4520XL est facile à utiliser et à entretenir, avec des affichages à bord clairs et compréhensibles. Il est conçu pour être un graveur et asher fiable et efficace, idéal pour une production à haut volume, ainsi que pour des processus de recherche et de développement plus complexes.