Occasion LAM RESEARCH 4520 XL #9374770 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 XL est un équipement de gravure/cendres qui est utilisé pour la gravure diélectrique avancée et le nettoyage superficiel des plaquettes. Il est conçu pour effectuer des processus de gravure et de nettoyage de haute précision avec une précision, une vitesse et une répétabilité inégalées. Ce système est équipé d'étages linéaires verticaux à double friction pour assurer une grande précision et un alignement cohérent des plaquettes pendant le traitement. L'etcher/asher est équipé d'une unité optique qui fournit une analyse et un contrôle fiables des données de processus. De plus, LAM RESEARCH 4520XL est capable de traiter plusieurs plaquettes simultanément, ce qui le rend parfait pour les applications de production à haut volume. Le graveur-cendrier est équipé d'un générateur de plasma à base d'hydrogène et est capable d'effectuer des opérations de gravure ou de cendres à base d'oxygène. Le générateur est équipé d'un châssis électrostatique (ESC) qui peut maintenir et positionner avec précision les plaquettes et assurer une qualité de gravure uniforme. En outre, le générateur dispose également de gravure diélectrique améliorée (EDE) qui fournit des capacités de gravure très précises. De plus, le générateur est équipé d'un poste de distribution radiale du substrat (SRDS) pour assurer une manipulation optimale et cohérente des plaquettes. Les plaquettes peuvent être traitées à travers la machine à une vitesse maximale de 30 plaquettes par heure et sont soumises à une température de quartz surveillée en continu, assurant des résultats de haute qualité. 4520 XL est conçu pour offrir des performances supérieures pour les exigences de processus les plus spécifiques. Il dispose d'un contrôle de processus embarqué intelligent avec une capacité totale de création de séquence de processus. Il est également équipé de capacités diagnostiques inégalées, permettant aux utilisateurs de maximiser leurs performances d'outils. Cet etcher/asher peut également être facilement intégré aux systèmes de gestion des processus par lots ainsi qu'aux files d'attente des processus. L'actif est également équipé d'outils complets de création et de gestion de recettes pour aider les utilisateurs à créer et gérer des recettes par tranche ou par lot. 4520XL est un modèle de gravure/cendres fiable, précis et fiable, capable d'obtenir des résultats de la plus haute qualité tout en offrant une efficacité optimale à un prix très compétitif. Il est idéal pour des applications de haute précision ainsi que de production à haut volume dans une variété d'industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, solaire et disque dur.