Occasion LAM RESEARCH 4520 XLE #293825710 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 XLE est un graveur/asher conçu pour une performance optimale dans une variété d'applications de gravure et de cendrage de semi-conducteurs. L'unité supporte un large éventail de substrats et est compatible avec la plupart des produits chimiques existants et des options d'outils dans l'industrie. L'équipement 4520 XLE est conçu pour un débit rapide, avec un temps de cycle typique entre deux et cinq minutes, lui permettant de traiter jusqu'à 500 plaquettes par heure. Le système est capable de fonctionner avec une large gamme de gaz, tels que CF4, SF6, NF3, O2 et d'autres produits chimiques. LAM RESEARCH 4520 XLE est construit à partir de composants robustes pour assurer des performances constantes tout au long de sa vie. Il utilise une chambre en acier inoxydable et des têtes de douche en quartz montés horizontalement pour une uniformité de gravure supérieure. L'graveur est relié à un panneau de commande central qui permet la configuration et le contrôle des paramètres de gravure et de cueillette, y compris la température, la pression, le débit de gaz et la polarisation des plaquettes. L'unité comprend également des dispositifs de sécurité tels que des capteurs de température et de pression de la chambre, des vannes d'arrêt de gaz et une machine de verrouillage. 4520 XLE dispose d'une station de nettoyage rapide et de chargement de plaquettes, qui est conçu pour minimiser les temps d'arrêt et de faire des changements de solutions rapides et faciles. La chambre peut être évacuée rapidement et l'outil peut être maintenu avec un temps d'arrêt minimal grâce à ses diagnostics automatiques d'actifs et ses processus de dépannage. Le modèle est conçu pour générer une contamination minimale, ce qui en fait un excellent choix pour les applications critiques de gravure et d'ashing. LAM RESEARCH 4520 XLE est un équipement polyvalent et fiable, parfait pour les applications industrielles et de recherche. Il offre des performances supérieures, une construction robuste et un processus d'entretien rapide et facile. L'unité est construite pour être fiable et efficace, fournissant une plate-forme stable et stable pour des résultats de gravure et de cueillette optimaux.