Occasion LAM RESEARCH 4520 XLE #9188552 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 XLE
ID: 9188552
Taille de la plaquette: 8"
Oxide etcher, 8" SMIF.
LAM RESEARCH 4520 XLE est un instrument de gravure ou d'ashing haute performance conçu pour les laboratoires de recherche et les installations de production. Avec un équipement d'entraînement à double plaque avancé, la XLE offre une précision, une précision et une répétabilité supérieures pour la gravure à basse température. Sa capacité extrême de gravure à basse température, combinée à la capacité d'effectuer une gravure à vitesse variable, le rend idéal pour la gravure de substrats pour des applications de recherche et de production. Une interface utilisateur intuitive permet des réglages précis du programme et la surveillance du système, tandis que l'unité de contrôle intégrée en temps réel de l'azote (N2) assure la répétabilité du processus. La machine de contrôle propriétaire XLE et les algorithmes de contrôle plasma multi-niveaux permettent un contrôle de gravure précis. Ses multiples systèmes de hucking offrent un alignement précis et fin des substrats lors de la gravure. Le XLE offre plusieurs options de stand de test, permettant aux utilisateurs de configurer l'outil pour effectuer des processus de gravure ou de cueillette sur différents substrats. Un outil intégré d'acquisition et de surveillance des données permet aux utilisateurs d'assurer des conditions répétables pendant le processus de gravure, tandis qu'un modèle de détection d'arc assure la sécurité et le contrôle de la qualité pendant la gravure. En plus de son équipement d'entraînement à double plaque, la XLE dispose également de plusieurs fonctionnalités supplémentaires qui maximisent les performances. Sa conception modulaire lui permet d'être facilement intégré dans les systèmes existants et son système intégré de contrôle du vide assure une pression et un écoulement précis à l'intérieur de la chambre. Le XLE est équipé d'une unité d'imagerie infrarouge haute puissance, permettant un contrôle précis de la température tout au long du processus. En outre, le XLE offre une machine de diagnostic à distance pour la surveillance des conditions dans la chambre. 4520 XLE est un instrument de gravure et de cendrage avancé qui offre une précision, une précision et une répétabilité supérieures. Son outil avancé d'entraînement à double plaque permet un contrôle précis de la gravure et l'actif intégré de contrôle de l'azote en temps réel assure la répétabilité du processus. Sa conception modulaire lui permet d'être facilement intégré dans les systèmes existants, tandis que ses systèmes d'imagerie infrarouge et de détection d'arc assurent une gravure précise et sûre. Le modèle de diagnostic à distance permet une surveillance en temps réel des conditions de la chambre, permettant un contrôle précis.
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