Occasion LAM RESEARCH 4520 #293595659 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 est un graveur/asher composé d'une seule plaquette, d'une basse pression, d'une activation plasmatique qui est capable de graver ou d'aspirer une gamme de matériaux, y compris le diélectrique, le polyimide, le verre, le métal et le silicium. C'est un équipement compact avec une taille de plaquette de 6 pouces, offrant un niveau élevé de précision, de répétabilité et de flexibilité de processus pour réduire les changements coûteux et longs à l'équipement. Le système est doté d'un processus d'activation plasmatique à basse pression et est conçu pour réduire la contamination de surface et fournir une haute qualité, vitesse de gravure anisotrope et uniformité de profondeur. 4520 est également une unité économe en énergie et est équipée d'une machine de contrôle de processus en boucle fermée pour assurer la pleine uniformité et le contrôle du processus de gravure. En outre, il comprend une source hyperfréquence de grande puissance pour des cycles de gravure/cendres et/ou des traitements plasmatiques à haute performance. La technologie exclusive DART (Dynamic Etch Rate Control) incluse dans l'outil est conçue pour surveiller et contrôler la vitesse de progression de la gravure, stabiliser le plasma et l'uniformité par le processus de gravure. Cela garantit que la partie de la plus haute qualité est créée indépendamment des exigences du processus. De plus, la fonction CPV (Closed-loop Process Validation) permet l'adoption rapide et facile de nouvelles recettes, le remboursement plus rapide du capital et l'optimisation globale des processus. L'actif est capable de manipuler une variété de types de plaquettes ainsi qu'une gamme de matériaux, ce qui permet d'obtenir différentes qualités de gravure et d'ashing. L'interface graphique conviviale permet des recettes de gravure/cendres personnalisées spécifiques aux exigences d'application du client. L'graveur/asher peut être utilisé en mode batch ou continu. LAM RESEARCH 4520 est soutenu par des services de communications et de soutien supérieurs à un prix compétitif, assurant le plus haut niveau de satisfaction des clients.