Occasion LAM RESEARCH 4520 #9029728 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 Asher/Etcher est un outil de traitement avancé, précis et sous vide utilisé dans la fabrication de circuits intégrés et autres dispositifs électroniques. L'équipement est capable de produire une variété de matériaux tels que des films de poly-silicium, de polyimide, de chrome, de diélectrique bas k et d'oxyde dopé. 4520 utilise un système de gravure avec un réservoir de balayage très rapide et précis couplé à une unité de contrôle de mouvement qui permet des processus précis et reproductibles. Le réservoir de balayage comprend des gaz inertes à grande vitesse, ce qui garantit une bonne répétabilité, uniformité et débit. Le LAM dispose également d'une source de plasma en deux étapes qui fournit une gravure rapide et robuste avec une pulvérisation à basse température induite, une gravure anisotrope profonde et d'excellentes qualités desmear. La source de plasma est très compacte et a une puissance variable pour des processus cohérents et répétables. LAM RESEARCH 4520 dispose également d'une machine réglable de contrôle de la température du substrat qui assure une gestion thermique précise tout au long du cycle de traitement des plaquettes. Une douche tunnel intégrée permet un temps de traitement rapide tout en assurant un refroidissement et un contrôle de température efficaces. L'outil offre également un certain nombre d'options facultatives d'amélioration de processus telles que la surveillance de la pression des gaz inertes et la caractérisation du plasma et la surveillance du potentiel de gravure. 4520 a également intégré un logiciel pour surveiller la performance de l'actif et fournir un retour en temps réel des différents paramètres de processus. Cela permet de surveiller, d'ajuster et d'optimiser constamment le processus afin de maximiser les rendements et la qualité du produit final. En outre, le logiciel fournit des recettes pour les différents processus de gravure, qui fournissent des conditions idéales pour chaque processus individuel à exécuter. LAM RESEARCH 4520 est un outil de gravure et d'ashing de précision optimisé pour la production de circuits intégrés avancés et d'autres dispositifs microélectroniques. Le modèle est conçu pour le traitement rapide et précis de divers matériaux et utilise une source de plasma en deux étapes pour fournir une gravure rapide et profonde et une excellente performance desmear. L'équipement réglable de régulation de la température du substrat et la douche tunnel intégrée offrent un environnement idéal pour des plaquettes de 6 pouces. Une variété d'options d'amélioration de processus fournissent un processus répétable, fiable et très efficace. Le logiciel intégré fournit des retours en temps réel et l'optimisation des processus pour assurer le rendement et la qualité du produit final.