Occasion LAM RESEARCH 4520 #9145513 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 est un graveur/asher à plasma robuste conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement est équipé d'une seule chambre, permettant des processus de gravure efficaces et répétables. La chambre de process dispose d'un design de bouclier hybride diamant-métal et est capable d'applications de faible et de haute puissance. 4520 dispose de contrôleurs numériques où des paramètres tels que la puissance du plasma, la température et la pression peuvent être réglés et stockés. Cet etcher est contrôlé via un PC connecté via Ethernet et permet une programmation conviviale et le développement de recettes embarquées. En plus de la sécurité, LAM RESEARCH 4520 dispose d'un système de sécurité intégré qui permet l'arrêt à distance de l'appareil lorsqu'une alarme est déclenchée. 4520 a une gamme d'accessoires pour améliorer les processus de gravure, y compris un outil de diagnostic à distance, une machine de recirculation de gaz inerte, et un outil de transport automatique de plaquettes. De plus, l'actif dispose d'un modèle automatisé de détection des points d'extrémité pour assurer un traitement uniforme des plaquettes et des résultats reproductibles. LAM RESEARCH 4520 utilise la chimie du plasma à base d'halogène ou d'azote pour la gravure. Il dispose d'une large gamme de matériaux qu'il peut graver, y compris des polymères, SiO2, Si3N4, des couches PECVD et des couches métalliques. L'équipement peut également graver du cuivre à raison de 1000 angströms par minute. En plus des capacités de gravure, 4520 peut également être utilisé pour le rapport d'aspect élevé et la gravure anisotrope. Il offre également des fonctions de doublage et de tranchées latérales qui peuvent être utilisées pour améliorer le traitement des appareils. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 4520 est un système de graveur/asher flexible et fiable, et est le choix idéal pour produire des dispositifs semi-conducteurs de la plus haute qualité. Cette unité est robuste et conviviale, assurant des résultats reproductibles et cohérents, ce qui la rend idéale pour des applications de production à haut volume.