Occasion LAM RESEARCH 4520 #9145859 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4520
ID: 9145859
Oxide etcher, 6".
LAM RESEARCH 4520 etcher/asher est un équipement de traitement avancé adapté à un usage industriel. Il est capable de graver, planer et aspirer avec une gamme de matériaux dans une seule chambre de procédé, ce qui permet d'augmenter le débit de production et la flexibilité du procédé. 4520 a une capacité de 24 porte-plaquettes de 400mm, et est équipé avec des capacités de traitement chimique et à sec. Pour le traitement chimique, les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de liquides, y compris IPA, KOH et TMAH, et pour le traitement à sec LAM RESEARCH 4520 peut être utilisé avec N2 et O2. 4520 est construit avec un équipement de contrôle modulaire (MCS) qui permet aux utilisateurs de contrôler les paramètres du processus à partir d'un ordinateur. Cela permet une optimisation avancée des processus et réduit le besoin d'intervention manuelle. LAM RESEARCH 4520 dispose également de dispositifs de sécurité avancés conçus pour protéger le personnel. Il dispose d'un système de chambre à pression limitée (PLC) qui évite une surpression dans la chambre et d'une unité de rupture thermique qui empêche l'accumulation de chaleur dans la chambre et réduit le risque d'incendie. 4520 dispose également d'une machine automatique de détection des fuites qui est conçue pour détecter les fuites dans l'outil avant qu'elles ne s'échappent de la main. Du point de vue de la performance, la RECHERCHE DE LAM 4520 est capable d'un large éventail de graver à l'eau forte des taux et repeatability de dans ±5 % plus de 20 gaufrettes consécutives. Il convient à la fois à la production à faible volume et à la production à haut volume et peut être utilisé pour traiter des plaquettes avec une plage de diamètre de 100mm à 200mm. Il dispose également d'un temps moyen long entre le taux de défaillance (MTBF), ce qui le rend idéal pour un fonctionnement continu et ininterrompu. Globalement, 4520 graveur/asher est un équipement de traitement de haute performance, de qualité industrielle, capable de graver, planer et aspirer une gamme de matériaux. Ses capacités le rendent adapté à une production à haut volume et ses caractéristiques de sécurité avancées assurent la sécurité du personnel.
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