Occasion LAM RESEARCH 4520 #9189989 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 est un graveur ou un cendrier, dans lequel un plasma ou un gaz remplace les produits chimiques liquides ou pâteux utilisés dans le processus traditionnel de gravure ou de cendrage. L'équipement est utilisé principalement dans la fabrication et l'essai de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système vertical, typiquement 24 « à 30 » de large, qui comprend une chambre de gravure, une chambre à vide et des équipements annexes. Il est généralement réalisé entièrement en acier inoxydable ou en alliage d'aluminium afin de maintenir un environnement de pièce propre pendant le fonctionnement. La chambre de gravure dispose d'une distribution d'énergie RF de type tête de douche fonctionnant jusqu'à 200V. Ceci alimente un flux de plasma qui se heurte et grave la surface de la plaquette. Une chambre à vide est immédiatement adjacente à la chambre de gravure. Il peut être maintenu à des pressions internes jusqu'à 10 mT, grâce à l'utilisation de pompes turbo-moléculaires. Avec 4520, une large gamme de chimies de gravure peut être réalisée. Un mode d'assistance au gaz augmente l'efficacité de gravure des films photorésistants, tout comme la capacité de tension variable. La chambre de gravure utilise exclusivement un ou plusieurs gaz CxF6 (gaz hexaflouroprène), mélangés à divers autres gaz de gravure, selon le procédé particulier. LAM RESEARCH 4520 a plusieurs configurations de polarité et de champ magnétique de feuille permettant à l'opérateur de contrôler la forme de la gravure. Les débitmètres et capteurs de gaz, ainsi qu'une grande variété de capteurs de température et d'humidité et de systèmes de contrôle, sont utilisés pour contrôler avec précision les paramètres du processus. 4520 est configurable avec plusieurs outils de processus et une variété de zones isolées pour permettre la gravure simultanée de plusieurs types de plaquettes ou matrices. De plus, les interfaces d'affichage, les systèmes de mélange et de distribution de gaz, les porte-plaquettes, les obturateurs et les systèmes à vide sont tous conçus pour les tests de circuit et les exigences d'imagerie. L'unité offre un contrôle précis des variables de processus pour assurer des résultats reproductibles et s'est avérée très fiable et précise. Avec un excellent contrôle des procédés et des résultats reproductibles, les modèles LAM RESEARCH 4520 ont été largement adoptés dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec son excellente génération de plasma et sa machine de contrôle sophistiquée, 4520 est un outil fiable et rentable pour la gravure et l'ashing dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.