Occasion LAM RESEARCH 4520 #9389919 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4520
ID: 9389919
Oxide etcher, 6" Clamp classic.
LAM RESEARCH 4520 etcher/asher est un appareil de pointe spécialement conçu pour offrir des performances supérieures dans les applications de gravure et d'ashing. 4520 est destiné à être utilisé dans le traitement des semi-conducteurs et fournit des résultats fiables et reproductibles pour diverses applications. Le graveur/asher dispose d'une grande chambre de travail de 20 pouces par 12 pouces qui le rend facile à accueillir même les grands substrats. Il est équipé de paramètres de processus avancés contrôlés par l'utilisateur pour garantir que les conditions les plus idéales peuvent être atteintes pour le processus de gravure ou d'ashing spécifique utilisé. Les régulateurs de température sont réglés à ± 0,5 ° C du point de consigne, ce qui permet des résultats précis et reproductibles. LAM RESEARCH 4520 dispose également d'une conception compacte et économe en énergie et comprend des options avancées telles que la manipulation robotique à chaud et la surveillance des processus à distance avec des fonctions d'enregistrement des données. Il fournit une uniformité de gravure précise et cohérente sur l'ensemble du substrat en utilisant une source de plasma RF et un contrôle de rétroaction entièrement réglable en boucle fermée pour des processus reproductibles et de haute qualité. Pour une sécurité accrue, il est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité tels que des moniteurs d'évacuation de vide, des murs blindés pour prévenir les risques électriques et des embrayages qui empêchent l'ouverture incorrecte de la porte pendant le fonctionnement. De plus, 4520 dispose d'un intérieur en acier inoxydable de 304 nuances remplaçable et durable pour un nettoyage facile et une plus longue durée de vie. En plus d'être facile à utiliser et à entretenir, LAM RESEARCH 4520 est compatible avec une gamme de gaz de procédé et de précurseurs liquides. Il est idéal pour des applications telles que la gravure profonde, le cendrage et les procédés RIE, ainsi que des substrats spécifiques tels que le carbure de silicium, l'arséniure de gallium, le nitrure de gallium, le disulfure de molybdène, et bien d'autres. Dans l'ensemble, 4520 graveurs/asher est un appareil exceptionnel qui est capable de fournir des résultats reproductibles et cohérents - de manière conviviale - pour une gamme de processus de gravure et d'ashing. Ses caractéristiques avancées, son contrôle exceptionnel de la température et sa conception économe en énergie en font un choix idéal pour les laboratoires et les industries nécessitant des opérations de manutention de surface efficaces et fiables.
Il n'y a pas encore de critiques