Occasion LAM RESEARCH 4520 #9401524 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520 est un graveur/asher de haute performance. Il s'agit d'un système simple wafer Vertical Reactive Ion Etcher and Asher (VRIEA) conçu pour la production. Ce système utilise une combinaison spécialisée de sources d'énergie et de produits chimiques pour créer des processus cohérents et reproductibles qui fournissent des résultats de gravure et d'ashing de haute précision. 4520 est capable d'un large éventail de processus différents. Il est doté d'un procédé de gravure sèche propre et épais, d'un cendrier intégré en option et d'une capacité thermique. Il dispose également d'une interface avancée pour la configuration des recettes, la collecte et la gestion des données et le diagnostic des systèmes. Cela permet une large gamme de flexibilité de processus et de configurations personnalisées. LAM RESEARCH 4520 est conçu pour une large gamme de tailles de puces. Il est compatible avec des plaquettes de 1 à 6 pouces et est capable d'obtenir une épaisseur à partir de matériaux de type NMOS, PMOS ou oxyde. Il dispose d'une gravure étroite et uniforme qui minimise les dimensions critiques, et il a une précision de +/- 0,25 microns. 4520 utilise des sources d'énergie plasma et des produits chimiques pour réaliser les processus de gravure et de cueillette souhaités. Ses mélanges de gaz sont adaptés à chaque procédé et peuvent être configurés dans de nombreuses combinaisons. Son générateur à haute fréquence à puissance variable assure un processus uniforme et cohérent. LAM RESEARCH 4520 comprend également une application logicielle avancée pour aider à gérer le processus de gravure et de cueillette. Ce logiciel peut aider à créer des étapes séquentielles dans une recette de gravure, recueillir des données de production et revoir les paramètres du processus. Il peut également aider à dépanner et à automatiser le processus de gravure. La polyvalence 4520 est conçue pour la production des produits les plus petits et les plus exigeants d'aujourd'hui. Son logiciel intégré et ses procédés avancés le rendent parfait pour la gravure et le cendrage de haute précision. Il peut fournir la répétabilité et l'uniformité nécessaires pour assurer les meilleurs résultats possibles.