Occasion LAM RESEARCH 4520B #9278088 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher est une haute performance, 3 chambres, en ligne asher/etcher pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. 4520B dispose d'un loadlock indépendant unique qui offre une flexibilité sur l'utilisation individuelle de la chambre, la température, la pression et le développement de la recette. L'etcher/asher est entièrement configuré avec des systèmes de sécurité et dispose de capacités d'autodiagnostic intégrées. Il est conçu pour fournir des appareils fiables à haut rendement avec une capacité de traitement uniforme et lisse. LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher a une conception plane compacte qui peut accueillir jusqu'à trois chambres de traitement simultanément avec une empreinte minimale et une interface de communication facilement fournie. Le graveur/asher est doté d'une technologie active de contrôle de l'uniformité, d'une source de plasma exclusive et d'un équipement avancé de distribution de gaz. Les trois chambres de traitement de 4520B, un asher, un graveur à température constante ou programmable, et interchangeable wetclean, permettent aux utilisateurs d'optimiser différents paramètres tels que le matériau à graver, la température et la pression, la puissance plasmatique et l'uniformité de gravure pour obtenir un rendement et un débit optimaux. LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher dispose d'un contrôle précis de la recette enregistrable qui permet aux utilisateurs de reproduire rapidement et facilement des processus précis. Il a intégré un support pour le contrôle de la qualité au niveau de la chambre et de la recette, avec un système de diagnostic de chambre en temps réel pour l'optimisation de la recette et la performance de la chambre. En outre, il offre une large gamme de paramètres de processus incluant la température, la pression et le débit de gaz et assure un contrôle précis sur les chambres individuelles. En outre, 4520B est équipé de dispositifs de sécurité efficaces, y compris le confinement de gaz, l'arrêt dans la chambre, l'unité de contrôle automatisé de la pression, et la machine d'éclairage. Il fournit également une détection de point final mains libres, un partage pratique des ressources, et les utilisateurs peuvent surveiller tous les paramètres de processus disponibles en temps réel, y compris la répétabilité wafer to wafer. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher est une solution idéale pour toute la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé de dispositifs de sécurité efficaces et fournit un contrôle précis, permettant une exécution de recette précise pour un traitement uniforme des dispositifs.