Occasion LAM RESEARCH 4520i #9130287 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520i est un graveur/asher conçu pour fournir un processus de gravure de ratio d'aspect ultra élevé. Ce graveur-asher est un équipement compact et à haute température qui convient à un large éventail d'applications, telles que l'emballage de filière semi-conductrice. 4520i traite à 225 ° C et 180 ° C, respectivement, pour les applications gravure et asher. Ce système est équipé de graveurs ECR brevetés multi-encoches pour des caractéristiques de gravure de haut rapport d'aspect supérieures. L'graveur multi-encoches est composé de deux parties primaires : une bobine de distribution de gaz qui est aimantée dans la chambre de gravure, et deux buses en céramique qui servent de sites de gravure. La bobine de distribution de gaz crée un panache uniforme de gaz de gravure pour fournir un processus cohérent. Les buses céramiques créent une série de petits ions de gravure qui sont focalisés dans le substrat pour une gravure profonde. LAM RESEARCH 4520i utilise une unité de commande à microcontrôleur haute vitesse, qui permet de régler facilement la puissance, la température et la pression. Le processus de gravure est sécurisé par un contrôleur logique programmable (PLC) qui fournit des capacités d'automatisation des processus et d'enregistrement des données. La machine de filtration d'air assure également un fonctionnement propre. Les avantages du choix 4520i comprennent le rapport coût-efficacité, l'excellente précision, la haute résolution et le haut débit. Avec sa zone de gravure variable, sa grande profondeur de gravure et ses capacités de gravure couche par couche, LAM RESEARCH 4520i peut répondre aux exigences les plus exigeantes. En permettant la gravure de petits trous et autres motifs, 4520i offre un contrôle de processus exceptionnel avec un ruissellement minimal et des taux de rendement élevés. Enfin, l'outil de contrôle automatisé de haute précision et les capacités de surveillance font de LAM RESEARCH 4520i un outil efficace pour les applications de gravure et d'ashing.