Occasion LAM RESEARCH 4520i #9226619 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520i
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4520i
ID: 9226619
Taille de la plaquette: 6"
Oxide etchers, 6" Pumps and chiller included ESC.
LAM RESEARCH 4520i est un graveur/asher plasma ultra-précis de pointe, conçu pour répondre aux exigences de gravure les plus exigeantes et les plus précises. Cet outil révolutionnaire fournit des gravures de précision au niveau des plaquettes, avec l'option de 3 ou 4 gravures latérales avec gravure multi-axes en option. 4520i utilise un moteur de gravure en boucle fermée en temps réel permettant le contrôle et la stabilité du processus. Il en résulte une gravure de haute qualité, avec peu de défauts de procédé. LAM RESEARCH 4520i présente une large gamme de caractéristiques conçues pour la gravure précise et le cendrage des plaquettes et des substrats, y compris une chambre de processus multimode, permettant un meilleur contrôle des procédés et une meilleure stabilité des procédés. La conception de la chambre offre une excellente uniformité et répétabilité, et est très flexible pour une variété de matériaux de substrat, avec des performances de vide exceptionnelles et de faibles niveaux de particules. Le graveur peut accomplir un haut niveau d'exactitude, avec un large éventail d'options de résolution, en accomplissant jusqu'à ± exactitude de 0,5 microns. L'architecture système avancée de 4520i permet une utilisation facile de l'opérateur avec un contrôle de processus flexible et l'acquisition de données. Une interface utilisateur graphique intuitive facilite la configuration et le fonctionnement des paramètres de processus, ainsi que l'enregistrement des données des opérations de processus. L'unité est également équipée d'une fonction de programmation basée sur la recette, permettant le développement futur de recettes personnalisées uniques à un processus spécifique. LAM RESEARCH 4520i est un système de graveur/asher plasma fiable et efficace, offrant des procédés de gravure cohérents et de haute qualité pour des rendements optimaux. Avec ses fonctionnalités avancées, sa polyvalence et son large éventail d'options de processus, le système est le choix idéal pour la recherche et le développement, ainsi que pour les applications de production à faible volume. Le matériel et le logiciel intégrés fournissent un contrôle complet des processus et assurent des taux de rendement élevés, faisant de 4520i un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'un graveur/asher de haute précision et rentable.
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