Occasion LAM RESEARCH 4520i #9292701 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520i est un graveur/asher avancé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement utilise un procédé de gravure isotrope assistée par plasma. Il est bien adapté pour les applications de gravure telles que la réduction de la taille des caractéristiques, l'amélioration de la planarité, l'élimination des anneaux B, la formation de la couche d'isolation gazeuse, la fixation de la couche de redistribution, la mise en forme des bords de ligne et la fixation de la couche de passivation. 4520i dispose d'une source de plasma couplée à basse pression qui fournit un contrôle de non-uniformité supérieur, uniformité et répétabilité de processus. Il est équipé d'un générateur RF haute densité qui permet un fonctionnement en courant continu ainsi qu'une alimentation auxiliaire basse fréquence pour la commande de polarisation de version. Un équipement avancé de contrôle des processus optimise le débit des plaquettes et les paramètres du processus. Le système de gravure est capable de graver jusqu'à 1,2 micromètre en quelques minutes et de supporter des applications de gravure de tranchées jusqu'à 100nm. LAM RESEARCH 4520i dispose de plusieurs dispositifs de sécurité tels que des diagnostics de gaz et des contacts avancés qui assurent un fonctionnement sûr 24 heures sur 24 de l'appareil. La machine avancée de protection des bords réduit le risque de cassure des plaquettes. L'outil est conçu pour la flexibilité et l'extensibilité et peut être modifié pour tenir compte des processus nouveaux et avancés. L'actif est compatible avec des sources matérielles telles que Ar/NF3/C4F8, CHF3/CF4, NF3/O2 et O2/CHF3/CF4. 4520i contient un logiciel d'automatisation d'outils qui permet le contrôle simultané de plusieurs outils, ainsi que l'édition de paramètres de processus/recette. Le modèle est dédié à aider les utilisateurs à atteindre le plus haut débit avec des défauts minimes et une excellente répétabilité du processus. La détection avancée en fin de course permet une collecte rapide des données RCP pour des résultats optimaux de plaquettes. LAM RESEARCH 4520i est une machine fiable et fiable offrant aux utilisateurs la plus grande précision et précision pour les processus de gravure et de cendres. L'etcher/asher est facile à installer et à entretenir et fournit aux utilisateurs un processus hautement automatisé avec des résultats robustes et reproductibles.