Occasion LAM RESEARCH 4520i #9399005 à vendre en France
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LAM RESEARCH 4520i est un équipement de pointe Etcher/Asher conçu pour la production de composants électroniques et optoélectroniques. Le système est un outil sophistiqué et flexible à haut débit qui offre des capacités de gravure/cueillette supérieures avec des résultats supérieurs. Il obtient des résultats supérieurs en utilisant plus précisément des ions ciblés pour fournir des motifs de gravure exacts, tout en diminuant simultanément la gravure et le temps d'ashing. 4520i est équipé avec un haut courant simple, le design de fusil d'ion double qui offre supérieur grave des taux à l'eau forte de 10,000A/cm2 en présence d'un large éventail de matériel et grave des chimies à l'eau forte. Sa conception simplifie l'alignement, ce qui est essentiel pour produire des caractéristiques de gravure de haute qualité et permet à l'unité de traiter des substrats exigeants sans introduire de débris et de particules dans la chambre de procédé. La machine dispose également d'un module d'injection plasma à jet long et très résilient qui permet de fonctionner à basse pression de processus pour minimiser les dommages de surface induits par les gravures et les cendres. LAM RESEARCH 4520i est un outil modulaire qui permet de modifier ou de mettre à niveau des composants individuels au fil du temps afin de maintenir une production optimale et de s'adapter à de nouveaux processus. L'actif offre une manipulation standard et personnalisée des substrats, permettant une traversée automatisée. Ceci est idéal pour le dépôt et la gravure de surfaces non planes et de composants qui nécessitent un alignement de précision. Son modèle de régulation de température est capable de moduler la température en différents points du substrat lors des processus de gravure/cendres. Il dispose également d'un moniteur de pression à la pointe de la technologie qui surveille de près les pressions de gravure et de cendrage pour assurer des processus harmonieux et cohérents. 4520i est adapté à une large gamme d'applications de gravure et d'ashing dans la production de composants de tolérance fine pour l'industrie électronique. C'est un équipement idéal pour les composants MEMS/NEMS, RF et optiques qui nécessitent une gravure et un cendrage précis, et offre des résultats très fiables et reproductibles. C'est un excellent choix pour des applications de production exigeantes qui nécessitent des taux de gravure/cendres élevés, l'uniformité et la précision.
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