Occasion LAM RESEARCH 4526 #9135993 à vendre en France

LAM RESEARCH 4526
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4526
ID: 9135993
Taille de la plaquette: 6"
Oxide RIE etcher, 6" HINE 38A Indexer Clamp ADVANCED ENERGY PDW2200 RF Generator.
LAM RESEARCH 4526 est un graveur/asher conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Cet instrument polyvalent est capable de graver et d'aspirer un large éventail de matériaux tels que la résine photosensible, les métaux, les oxydes, les nitrures, etc. C'est un outil polyvalent qui est utilisé pour une panoplie d'applications telles que le balisage, le dopage, etc. Ce système est équipé de deux sources de plasma puissantes qui lui permettent de traiter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre dans une plage de température maximale allant jusqu'à 385 ° C Cette machine dispose également d'un contrôle avancé de la température et de l'uniformité qui permet aux utilisateurs de chauffer ou de refroidir les échantillons avec précision. De plus, le 4526 est équipé d'un Gantry robotique en aval à grande vitesse, permettant un transfert de matériaux rapide et fiable. Le système est livré avec des fonctionnalités logicielles avancées telles que le suivi des défauts et le nettoyage automatique de la chambre, ainsi qu'une variété de recettes de processus qui peuvent être utilisés pour ajuster les processus de gravure et d'ashing à différents substrats. Cela permet aux utilisateurs de créer des recettes de gravure personnalisées pour chaque application, assurant des résultats de processus supérieurs. Grâce à sa flexibilité, LAM RESEARCH 4526 convient à un large éventail de procédés de production. La machine est conçue pour optimiser le débit des plaquettes, augmenter les rendements et réduire la contamination. En outre, la suite de contrôle robuste et le logiciel intuitif améliorent considérablement la polyvalence et la convivialité de la machine. Cela en fait un excellent choix pour la recherche et les applications industrielles. Au total, 4526 est un graveur/asher fiable et polyvalent, conçu pour répondre aux besoins des utilisateurs. Ses caractéristiques avancées, ainsi que ses hautes performances, en font un choix judicieux pour tout laboratoire de traitement de plaquettes.
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