Occasion LAM RESEARCH 4528 #9011007 à vendre en France

LAM RESEARCH 4528 est un équipement de graveur/asher conçu pour la gravure de haute précision des plaquettes de silicium. Ce système permet de graver ou de soutirer avec précision des plaquettes de silicium dans des motifs parfaitement définis et aléatoires. L'unité peut supporter le traitement par lots et simple plaquette avec une précision allant jusqu'à 1 micron. La pression, la température et la concentration de dopant utilisées dans le processus de gravure peuvent être ajustées avec précision pour répondre aux besoins de l'application en question. La machine comprend deux chambres, la chambre principale et la chambre supérieure. La chambre principale abrite le générateur de plasma, le craqueur de gaz, les injecteurs de tête de douche, les alimentations à haut courant et d'autres composants. La chambre supérieure contient les paniers de chargement et de déchargement et l'outil de pré-conditionnement. Le plasma créé dans la chambre principale est utilisé pour graver les plaquettes dans la chambre supérieure, tandis que l'actif d'incubation, présent dans la chambre supérieure, contribue à maintenir la cohérence du processus de gravure. Le modèle fonctionne à une température allant de 70 à 150 degrés Celsius et une pression allant de 1 à 10 Torr. Grâce à ses capacités intégrées de contrôle des processus et de diagnostic in situ, l'équipement est en mesure de fournir un processus de gravure continu et cohérent. La surveillance intégrée du processus permet un contrôle étroit et précis du processus de gravure avec la capacité de détecter tout changement dans les paramètres du processus, tels que la température, la pression ou la concentration de dopant, et de les corriger en quelques secondes. Le système est également capable de graver et de soutirer avec précision des plaquettes de silicium avec une uniformité allant jusqu'à 1 micron. L'unité assure également une répartition uniforme des gaz, ce qui assure une gravure uniforme des plaquettes. La qualité du gaz est contrôlée avec précision tout au long du processus de gravure, offrant une gravure cohérente et une finition de surface uniforme. La machine permet également de graver plusieurs plaquettes en un seul processus, ce qui élimine le besoin de manutention et de chargement manuel de chaque plaquette. 4528 est un outil de graveur/asher avancé conçu pour la gravure de haute précision des plaquettes de silicium. Avec son contrôle précis des processus, sa précision de gravure et sa distribution uniforme des gaz, cet atout est privilégié par de nombreuses marques pour ses résultats fiables et sa répétabilité.